[發(fā)明專利]一種石墨舟自動清洗裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610107206.3
• 申請日: 2016-02-26
• 公開（公告）號: CN105537186A
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉紅明;頓海龍;張紅偉;王海濤
• 申請（專利權(quán)）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光伏制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種石墨舟自動清洗裝置及方法。

背景技術(shù)

太陽能電池生產(chǎn)過程中硅片的鍍膜過程是由石墨舟作為載體，在鍍膜過程中石墨 舟表面會附著上一層氮化硅膜，氮化硅膜會影響硅片的鍍膜效果，因此需要定期對石墨舟 進行清洗。清洗石墨舟的過程中需要將石墨舟放在耐酸材質(zhì)的容器中，并向容器中添加一 定量的純水和氫氟酸，經(jīng)過鼓泡清洗、水浴去酸等過程才能將石墨舟表面的氮化硅去除干 凈。而在對石墨舟清洗時，諸如加水，加酸，鼓泡清洗，排液等過程全部由人工操作，準(zhǔn)確性 低，安全性差。

目前的石墨舟清洗裝置中，通常由兩個或者多個清洗槽組成，石墨舟放入裝置內(nèi) 之后，需要操作人員向裝置內(nèi)手動或通過隔膜泵添加定量的氫氟酸，打開加水閥向內(nèi)添加 純水至一定水位后關(guān)閉，再打開壓縮空氣閥門，通過裝置底部的鼓泡管鼓泡，經(jīng)過一定時間 后將酸液排放到其他清洗槽內(nèi)，通過多次水浴去酸后方可完成石墨舟清洗過程。

現(xiàn)有的石墨舟清洗裝置，基本上全部通過人工操作完成加酸、加水、鼓泡清洗、水 浴去酸、排酸（排水）等一系列過程，在此過程中存在以下問題：

1.由于氫氟酸具有強烈的腐蝕性，氫氟酸暴露在外環(huán)境中存在安全隱患；

2.人工清洗過程中酸和水的用量、某一過程（如鼓泡，水洗）的時間、以及所有的閥門開 關(guān)全部由人工控制，準(zhǔn)確度低，更浪費時間和人工；

3.目前的石墨舟清洗裝置無安全門，工作過程中無法鎖閉，裝置內(nèi)的酸水混合物直接 與外界接觸，若發(fā)生液體飛濺，容易對附近人員造成危險。

4.當(dāng)前的石墨舟清洗裝置無急停開關(guān)，在出現(xiàn)意外情況時無法及時關(guān)閉所有加液 和通氣閥門，存在安全隱患。

5.氫氟酸用量由人工控制，不能保證用量穩(wěn)定。

所以，如何提供一種石墨舟自動清洗裝置及清洗方法，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問 題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種石墨舟自動清洗裝置及基于該裝置的清洗方法，具 體方案如下：

一種石墨舟自動清洗裝置，包括清洗槽、氫氟酸儲罐、排廢管以及控制中心，其特征在 于：

所述清洗槽以及所述氫氟酸儲罐之間通過輸酸管連接，在所述輸酸管上遠(yuǎn)離氫氟酸儲 罐的方向上依次串接有隔膜泵、酸流量計、酸閥；

所述清洗槽還連接有輸水管，所述輸水管上設(shè)有水閥以及水流量計；

所述排廢管設(shè)于所述清洗槽底部，所述排廢管上設(shè)有排廢閥；

所述清洗槽底部還設(shè)有鼓泡裝置，所述鼓泡裝置連接著為輸氣管，所述輸氣管上設(shè)有 氣閥；

所述清洗槽的側(cè)壁上還設(shè)有低液位傳感器、高液位傳感器；

所述酸閥、所述酸流量計、所述隔膜泵、所述水閥、所述水流量計、所述排廢閥、所述氣 閥、所述低液位傳感器以及所述高液位傳感器均與所述控制中心通訊連接。

進一步的，所述清洗槽內(nèi)還設(shè)有氫氟酸濃度傳感器，所述氫氟酸濃度傳感器與所 述控制中心通訊連接。

更進一步的，所述清洗槽上部還設(shè)有安全門，所述安全門上設(shè)有安全門傳感器、所 述安全門的頂部設(shè)有報警燈，所述安全門傳感器以及所述報警燈與所述控制中心通訊連 接。

具體的，所述控制中心設(shè)于所述清洗槽的側(cè)面，所述控制中心包括控制操作界面 以及急停按鈕。

一種基于上述石墨舟自動清洗裝置的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：根據(jù)石墨舟清洗需要，通過控制中心的操作界面設(shè)定氫氟酸加入量以及純水加入 量；

S2：開啟隔膜泵以及酸閥開關(guān)，當(dāng)設(shè)定氫氟酸加入量與酸流量計檢測到的通過量一致 時，關(guān)閉所述隔膜泵及所述酸閥，完成氫氟酸加入；

S3：完成S2步驟后，水閥開啟，當(dāng)純水注入量與水流量計檢測到的通過量一致時，或高 液位傳感器檢測到液位時，關(guān)閉所述水閥，完成純水的加入步驟；

S4：完成S3步驟后，開啟氣閥，氣體進入清洗槽底部的鼓泡裝置，形成持續(xù)不斷的氣泡， 加速石墨舟附著物的清除；

S5：完成S4步驟后，開啟排廢閥，當(dāng)?shù)鸵何粋鞲衅鳈z測不到液位時，排廢液完成；

S6：檢查石墨舟清洗效果，如果不符合要求，重復(fù)S1-S4步驟，直至達到清洗要求；