[發明專利]一種提高航天繼電器中推動桿部件壽命的方法和設備

有效

• 申請號: 201610105819.3
• 申請日: 2016-02-26
• 公開（公告）號: CN105755443B
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 廖斌;歐陽曉平;羅軍;張旭;吳先映;王宇東
• 申請（專利權）人: 北京師范大學
• 主分類號: C23C14/48
• 分類號: C23C14/48;C23C14/32;C23C14/18;C23C14/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種提高航天繼電器中推動桿部件壽命的方法，其特征在于，包括：

利用低能離子束技術在推動桿部件推動球表面沉積高硬度、高絕緣強度以及低摩擦系數的DLC膜層，制備膜層的方法包括：

(a)采用金屬真空蒸汽離子源(MEVVA)注入方法，在推動球基底表面注入金屬元素，形成金屬″釘扎層″；

(b)在金屬″釘扎層″之上，采用磁過濾陰極真空弧(FCVA)方法，沉積得到第一層用于釋放內應力的薄膜金屬過渡層；

(c)在所述金屬過渡層之上，采用磁過濾陰極真空弧(FCVA)方法，沉積得到DLC膜。

2.根據權利要求1一種提高航天繼電器中推動桿部件壽命的方法，其特征在于：所述基底為玻璃推動球。

3.根據權利要求1一種提高航天繼電器中推動桿部件壽命的方法，其特征在于：所述金屬元素為Ti或者Ni，其注入電壓為4～20kV，束流強度為1～10mA，注入劑量為1×10¹⁵～1×10¹⁷/cm²，注入深度為70～220nm。

4.根據權利要求1一種提高航天繼電器中推動桿部件壽命的方法，其特征在于，所述金屬過渡層的厚度為10-500nm，所述DLC膜總厚度在0.1-5μm。

5.根據權利要求1一種提高航天繼電器中推動桿部件壽命的方法，其特征在于，相關沉積的設備包括：

(a)注入裝置，配置為利用金屬真空蒸汽離子源(MEVVA)系統，利用所述MEVVA離子源向所述基底表面注入金屬Ti或Ni元素，形成金屬″釘扎層″；其中，Ti或者Ni的注入電壓為4～20kV，束流強度為1～10mA，注入劑量為1×10¹⁵～1×10¹⁷/cm²，注入深度為70～220nm；

(b)沉積裝置，配置為磁過濾陰極真空弧(FCVA)系統，利用雙管180度與單管90度磁過濾沉積方式，所述沉積裝置包括：

第一沉積裝置，用于利用所述90度彎管FCVA系統，在所述金屬″釘扎層″上，磁過濾沉積出金屬薄膜層；其中，所述金屬薄膜層的金屬元素為Ti或Ni，厚度為10～500nm；

第二沉積裝置，用于利用180度雙管FCVA系統，在金屬薄膜層表面，磁過濾沉積得到DLC膜；其中，所述DLC膜層的厚度為0.1～5μm。

6.一種高耐磨、長壽命的DLC膜層，其特征為采用權利要求1-5任一項所述方法制備得到。