[發明專利]基于機器視覺色差法在線檢測CdS薄膜厚度的系統及方法

在審

• 申請號: 201610105466.7
• 申請日: 2016-02-25
• 公開（公告）號: CN105758318A
• 公開（公告）日: 2016-07-13
• 發明（設計）人: 黃勇彪;林文寶;劉海燕;涂代旺;鄭林芬
• 申請（專利權）人: 深圳市眾誠達應用材料科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 韓介梅

1.基于機器視覺色差法在線檢測CdS薄膜厚度的系統，其特征在于，包括CdS薄膜傳動系統、計算機及設于上述傳動系統上方的光源和拍攝像機；所述計算機內設置有圖像采集卡，并具有將CdS薄膜顏色信息轉換為厚度信息的功能；當傳動系統將CdS薄膜傳送至拍攝相機正下方時，拍攝相機采集CdS薄膜的圖像，并傳送至計算機，計算機獲得相應厚度信息。

2.應用如權利要求1所述的系統進行基于機器視覺色差法在線檢測CdS薄膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)建立CdS薄膜顏色與厚度對應關系數據庫：

A.采集一系列不同厚度的CdS標準樣品的圖像；

B.計算機提取上述樣品圖像的RGB值、飽和度值、色度值；

C.建立CdS薄膜厚度與RGB值、飽和度值及色度值之間的關系算法；

(2)實時拍攝在線生長的CdS薄膜的圖像，并將拍攝的圖像傳輸至計算機；

(3)計算機提取步驟(2)采集的圖像的RGB值、飽和度值、色度值，通過CdS薄膜顏色與厚度對應關系數據庫的算法，將圖像顏色信息轉換為CdS薄膜厚度信息。

3.如權利要求2所述的基于機器視覺色差法在線檢測CdS薄膜厚度的方法，其特征在于，在實時拍攝范圍內除CdS標準樣品或待測CdS薄膜樣品外，還設有一固定CdS薄膜參比樣品；將首次拍攝時的參比樣品圖像灰度平均值作為標準值，每次拍攝后將參比樣品的圖像灰度平均值與該標準值進行比較校正，獲得光強補償系數，將被測樣品的圖像灰度平均值自動乘以光強補償系數。

4.如權利要求1所述的基于機器視覺色差法在線檢測CdS薄膜厚度的系統，其特征在于，設置一套拍攝相機與光源，兩者可以同步移動，以檢測多個位置的CdS薄膜厚度。

5.如權利要求1所述的基于機器視覺色差法在線檢測CdS薄膜厚度的系統，其特征在于，設置多套攝相機與光源，分別固定在不同位置，獨立檢測不同位置的CdS薄膜厚度。

6.如權利要求1所述的基于機器視覺色差法在線檢測CdS薄膜厚度的系統，其特征在于，所述的光源采用人工七色光源。

7.如權利要求1所述的基于機器視覺色差法在線檢測CdS薄膜厚度的系統，其特征在于，所述的光源采用單色光源，波長550～610nm。