[發明專利]一種表面活性劑誘導電沉積加工ZnO氣體傳感器的方法有效
| 申請號： | 201610104376.6 | 申請日： | 2016-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN105738416B | 公開（公告）日： | 2018-11-09 |
| 發明（設計）人： | 孫豐強;潘子釗 | 申請（專利權）人： | 華南師范大學 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 胡輝 |
| 地址： | 510631 *** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面活性劑 誘導 沉積 加工 zno 氣體 傳感器 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備氣體傳感器的制備方法，其特征在于：該方法為以含有Zn2+的溶液為電解液，以電化學沉積的方法，在表面覆蓋有碳膜的氣敏陶瓷襯底表面電沉積制備鋅薄膜，得到含鋅/碳復合薄膜的氣敏陶瓷，再將其加熱，使鋅薄膜完全轉化為氧化鋅薄膜，即到ZnO復合薄氣體傳感器；
所述電解液中Zn2+的濃度為0.01～0.5M；
所述電解液中還含有表面活性劑，濃度在0.06g/mL以下，此時所得ZnO復合薄氣體傳感器為表面活性劑誘導生成的ZnO復合薄氣體傳感器；
所述表面活性劑選自聚乙烯吡咯烷酮、聚乙二醇、聚乙烯醇、十二烷基硫酸鈉、十六烷基三甲基溴化銨中的至少一種；
電化學沉積時的陰極為表面涂覆碳膜的氣敏陶瓷襯底；
所述碳膜的電阻值為60～120Ω；
電化學沉積時的陽極為惰性電極；
所述電化學沉積的電流為0.3～1mA，時間為2～40min；
所述加熱的溫度為350～450℃，時間為80～180min。
2.一種氣體傳感器，其特征在于，其制備方法為權利要求1所述的方法。
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