[發明專利]收塵裝置

有效

• 申請號: 201610102765.5
• 申請日: 2013-09-09
• 公開（公告）號: CN105771505B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 朱劉;陳松;于金鳳;朱巨才;吳偉平;李欽
• 申請（專利權）人: 清遠先導材料有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;B01D46/00;B01D46/44
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙)11387
• 代理人: 張向琨,劉春成

本申請是原發明專利申請(申請日為2013年09月09日、申請號為201310408002.X，發明名稱為“收塵裝置”)的分案申請。

技術領域

本發明涉及收塵領域，尤其涉及一種收塵裝置。

背景技術

化學氣相沉積過程是在真空狀態下，氣體通入到爐內，在真空的狀態下沉積，設備一般會連接真空泵，真空泵對設備抽真空產生一定的負壓。目前采用化學氣相沉積方法生產各種材料的過程中一般會產生大量的粉塵，若粉塵處理不當不但會沉積到產品里面，使產品的性能降低，品質不達標，而且因化學氣相沉積過程一般是真空狀態，在設備的后面一般會連接機械泵，粉塵一旦進入到機械泵里面會嚴重影響機械泵的使用壽命，更重要的是通過機械泵抽過來的粉塵不便于收集，可能導致整個系統癱瘓，無法使用。

發明內容

鑒于背景技術中存在的問題，本發明的目的在于提供一種收塵裝置，其能有效地去除粉塵。

本發明的另一目的在于提供一種收塵裝置，其能更好地保護價格昂貴的機械泵和恒壓真空泵。

為了實現上述目的，本發明提供了一種收塵裝置，其包括：主過濾器，連接于產塵裝置的出氣管以接收來自產塵裝置的粉塵，主過濾器在下游端設有連接口；次過濾器，設置在主過濾器的下方，通過連接管與主過濾器下游端的連接口連接；兩個平行過濾器，底部通過三通連接管分別與次過濾器的上端連接并分別與次過濾器受控連通，兩個平行過濾器的一個平行過濾器為備用以在兩個平行過濾器中的另一個平行過濾器不能正常工作時該備用的平行過濾器啟動并工作；三個收塵桶，分別安裝于次過濾器與兩個平行過濾器的下方，并分別受控連通于次過濾器與兩個平行過濾器，以用于收集次過濾器與兩個平行過濾器里面的粉塵；以及機械泵，受控連通于兩個平行過濾器的上部，以接收從兩個平行過濾器中的正常工作的平行過濾器排出的氣體并向外排出。

本發明的有益效果如下：

本發明的收塵裝置經過三級收塵之后可有效地去除粉塵；當產塵裝置為化學氣相沉積爐時，能夠解決化學氣相沉積過程中由于粉塵造成的一系列問題；操作簡單；根據生產過程時間的長短以及粉塵的多少可以實現方便更換或者清潔，還能更好地保護價格昂貴的機械泵和恒壓真空泵。

附圖說明

圖1為根據本發明的收塵裝置的結構示意圖；

圖2為圖1的虛線圓圈部分的放大圖。

其中，附圖標記說明如下：

1主過濾器 6恒壓真空泵

11連接口7控制組件

12真空正壓安全閥71脈沖電磁閥

13備用口72差壓變送器

14單板73壓力變送器

15擋板8氣體處理裝置

16測溫口9防腐風機

2次過濾器 10產塵裝置

3平行過濾器 101出氣管

31殼體S反吹用氣體源

32主反吹管V1-V15閥門

33分反吹管P1、P2、P3、P1'、P2'、P3'線路

34濾芯骨架T1連接管

35布袋T2三通連接管

36濾布E端口

4收塵桶

5機械泵

具體實施方式

下面參照附圖來詳細說明根據本發明的收塵裝置。

參照圖1，根據本發明的收塵裝置包括：主過濾器1，連接于產塵裝置10的出氣管101以接收來自產塵裝置10的粉塵，主過濾器1在下游端設有連接口11；次過濾器2，設置在主過濾器1的下方，通過連接管T1與主過濾器1下游端的連接口11連接；兩個平行過濾器3，底部通過三通連接管T2分別與次過濾器2的上部連接并分別與次過濾器2受控連通，兩個平行過濾器3的一個平行過濾器3為備用，以在兩個平行過濾器3中的另一個平行過濾器3不能正常工作時，該備用的平行過濾器3啟動并工作；三個收塵桶4，分別安裝于次過濾器2與兩個平行過濾器3的下方，并分別受控連通于次過濾器2與兩個平行過濾器3，以用于收集次過濾器2與兩個平行過濾器3里面的粉塵；以及機械泵5，受控連通于兩個平行過濾器3的上部，以接收從兩個平行過濾器3中的正常工作的平行過濾器3排出的氣體并向外排出。