[發(fā)明專利]收塵裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610102763.6
• 申請日: 2013-09-09
• 公開（公告）號: CN105582771B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱劉;陳松;于金鳳;朱巨才;吳偉平;李欽
• 申請（專利權(quán)）人: 清遠(yuǎn)先導(dǎo)材料有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;B01D46/00;B01D46/44
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11387
• 代理人: 張向琨,劉春成

本申請是原發(fā)明專利申請(申請日為2013年09月09日、申請?zhí)枮?01310408002.X，發(fā)明名稱為“收塵裝置”)的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及收塵領(lǐng)域，尤其涉及一種收塵裝置。

背景技術(shù)

化學(xué)氣相沉積過程是在真空狀態(tài)下，氣體通入到爐內(nèi)，在真空的狀態(tài)下沉積，設(shè)備一般會連接真空泵，真空泵對設(shè)備抽真空產(chǎn)生一定的負(fù)壓。目前采用化學(xué)氣相沉積方法生產(chǎn)各種材料的過程中一般會產(chǎn)生大量的粉塵，若粉塵處理不當(dāng)不但會沉積到產(chǎn)品里面，使產(chǎn)品的性能降低，品質(zhì)不達(dá)標(biāo)，而且因化學(xué)氣相沉積過程一般是真空狀態(tài)，在設(shè)備的后面一般會連接機(jī)械泵，粉塵一旦進(jìn)入到機(jī)械泵里面會嚴(yán)重影響機(jī)械泵的使用壽命，更重要的是通過機(jī)械泵抽過來的粉塵不便于收集，可能導(dǎo)致整個系統(tǒng)癱瘓，無法使用。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于背景技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種收塵裝置，其能有效地去除粉塵。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種收塵裝置，其能更好地保護(hù)價格昂貴的機(jī)械泵和恒壓真空泵。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種收塵裝置，其包括：主過濾器，連接于產(chǎn)塵裝置的出氣管以接收來自產(chǎn)塵裝置的粉塵，主過濾器在下游端設(shè)有連接口；次過濾器，設(shè)置在主過濾器的下方，通過連接管與主過濾器下游端的連接口連接；兩個平行過濾器，底部通過三通連接管分別與次過濾器的上端連接并分別與次過濾器受控連通，兩個平行過濾器的一個平行過濾器為備用以在兩個平行過濾器中的另一個平行過濾器不能正常工作時該備用的平行過濾器啟動并工作；三個收塵桶，分別安裝于次過濾器與兩個平行過濾器的下方，并分別受控連通于次過濾器與兩個平行過濾器，以用于收集次過濾器與兩個平行過濾器里面的粉塵；以及機(jī)械泵，受控連通于兩個平行過濾器的上部，以接收從兩個平行過濾器中的正常工作的平行過濾器排出的氣體并向外排出。

本發(fā)明的有益效果如下：

本發(fā)明的收塵裝置經(jīng)過三級收塵之后可有效地去除粉塵；當(dāng)產(chǎn)塵裝置為化學(xué)氣相沉積爐時，能夠解決化學(xué)氣相沉積過程中由于粉塵造成的一系列問題；操作簡單；根據(jù)生產(chǎn)過程時間的長短以及粉塵的多少可以實現(xiàn)方便更換或者清潔，還能更好地保護(hù)價格昂貴的機(jī)械泵和恒壓真空泵。

附圖說明

圖1為根據(jù)本發(fā)明的收塵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的虛線圓圈部分的放大圖。

其中，附圖標(biāo)記說明如下：

1主過濾器6恒壓真空泵

11連接口 7控制組件

12真空正壓安全閥 71脈沖電磁閥

13備用口 72差壓變送器

14單板 73壓力變送器

15擋板 8氣體處理裝置

16測溫口 9防腐風(fēng)機(jī)

2次過濾器10產(chǎn)塵裝置

3平行過濾器101出氣管

31殼體 S反吹用氣體源

32主反吹管 V1-V15閥門

33分反吹管 P1、P2、P3、P1'、P2'、P3'線路

34濾芯骨架 T1連接管

35布袋 T2三通連接管

36濾布 E端口

4收塵桶

5機(jī)械泵

具體實施方式

下面參照附圖來詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明的收塵裝置。

參照圖1，根據(jù)本發(fā)明的收塵裝置包括：主過濾器1，連接于產(chǎn)塵裝置10的出氣管101以接收來自產(chǎn)塵裝置10的粉塵，主過濾器1在下游端設(shè)有連接口11；次過濾器2，設(shè)置在主過濾器1的下方，通過連接管T1與主過濾器1下游端的連接口11連接；兩個平行過濾器3，底部通過三通連接管T2分別與次過濾器2的上部連接并分別與次過濾器2受控連通，兩個平行過濾器3的一個平行過濾器3為備用，以在兩個平行過濾器3中的另一個平行過濾器3不能正常工作時，該備用的平行過濾器3啟動并工作；三個收塵桶4，分別安裝于次過濾器2與兩個平行過濾器3的下方，并分別受控連通于次過濾器2與兩個平行過濾器3，以用于收集次過濾器2與兩個平行過濾器3里面的粉塵；以及機(jī)械泵5，受控連通于兩個平行過濾器3的上部，以接收從兩個平行過濾器3中的正常工作的平行過濾器3排出的氣體并向外排出。