[發(fā)明專(zhuān)利]化學(xué)增幅型正型抗蝕劑組合物和圖案形成方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610102176.7
• 申請(qǐng)日: 2016-02-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105954973B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小竹正晃;藤原敬之;增永惠一;土門(mén)大將;渡邊聰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/039
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/039;G03F7/00
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 杜麗利