[發(fā)明專利]一種長程面形測量儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610100965.7 | 申請日： | 2016-02-24 |
| 公開（公告）號： | CN105737758B | 公開（公告）日： | 2018-05-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 彭川黔;何玉梅;王劼 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司31002 | 代理人： | 鄧琪,余中燕 |
| 地址： | 201800 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 長程 測量儀 | ||
1.一種長程面形測量儀，用于對待測光學(xué)器件的表面進(jìn)行面形檢測，其包括掃描光學(xué)頭和f-θ角度檢測系統(tǒng)，其特征在于，
所述掃描光學(xué)頭包括面光源、分束鏡、單孔屏以及平面反射鏡，所述面光源水平放置，所述分束鏡傾斜地設(shè)置在所述面光源下方，所述單孔屏緊貼在所述分束鏡底面，所述平面反射鏡傾斜地設(shè)置在所述單孔屏下方并與所述分束鏡構(gòu)成類五棱鏡結(jié)構(gòu)的雙反射面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長程面形測量儀，其特征在于，所述掃描光學(xué)頭還包括殼體，所述面光源、分束鏡、單孔屏以及平面反射鏡均設(shè)置在所述殼體中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長程面形測量儀，其特征在于，所述f-θ角度檢測系統(tǒng)包括一傅里葉變換透鏡和一面陣探測器，所述傅里葉變換透鏡設(shè)置為將自所述平面反射鏡反射的光束匯聚后傳輸至所述面陣探測器，并在所述面陣探測器上形成測量光斑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長程面形測量儀，其特征在于，所述面光源為非相干面光源。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長程面形測量儀，其特征在于，該測量儀還包括光學(xué)平臺和線性平移臺，所述線性平移臺位于所述光學(xué)平臺上，所述掃描光學(xué)頭安裝在所述線性平移臺上。
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