[發明專利]一體式光纖F-P腔壓力傳感器

在審

• 申請號: 201610099847.9
• 申請日: 2016-02-23
• 公開（公告）號: CN105606277A
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 孫波;熊菠;梅運橋
• 申請（專利權）人: 成都凱天電子股份有限公司
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種一體式光纖F-P腔壓力傳感器,包括一個桶狀封裝外殼（1）、設置在所述封裝外 殼筒體中的壓力膜片（2）、固定連接在所述壓力膜片端底下的復合介質膜（3）和與插芯（5） 端部凹槽底平面齊平，穿過插芯伸出所述封裝外殼底部外的光纖（6），其特征在于：復合介 質膜（3）軸向正對插芯頂端凹槽，制有應力釋放孔結構的壓力膜片（2）,壓力膜片（2）鍵合 區域和感壓區通過鍵合工藝結合將插芯凹槽封裝形成一個F-P諧振腔，插芯（5）與壓力膜片 （2）以一體結構的固聯形式，通過周向連接的固聯構件（4）一體式裝配在上述封裝外殼（1） 的筒體中。

2.根據權利要求1所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，光纖（6）前端與壓力膜 片（2）上的復合介質膜（3）形成一對反射面，并形成干涉條紋，通過測量條紋信息來測量外 界壓力。

3.根據權利要求1所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，壓力膜片（2）的形狀是 正方形、菱形、圓形或六邊形中的一種結構形狀。

4.根據權利要求1所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，壓力膜片（2）的鍵合區 域的應力釋放結構為正方形、菱形、圓形或六邊形通孔。

5.根據權利要求1所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，壓力膜片（2）感壓區的 應力釋放結構的正方形、菱形、圓形或六邊形孔，孔的深度為壓力膜片厚度的1/3。

6.根據權利要求1所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，壓力膜片（2）的下端面 鍍有反射率為30%的復合介質膜。

7.根據權利要求1所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，在所述的壓力膜片（2） 背面上生長有至少一層復合介質膜，所述復合介質膜為SiO₂/Ta₂O₅薄膜、Si₃N₄/Ta₂O₅薄膜或 SiO₂/Ta₂O₅/Si₃N₄中的至少一種組合形態的多層薄膜。

8.根據權利要求7所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，所述壓力膜片（2）背面 的復合介質膜為或氮化硅Si₃N₄、五氧化二鉭Ta₂O₅多層薄膜,或SiO₂、Ta₂O₅、Si₃N₄多層薄膜。

9.根據權利要求1所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，壓力膜片（2）以100晶向 的優質硅片，在其硅片一面濺射生長由多層介質膜組成的復合介質膜，形成壓力膜片（2）。

10.根據權利要求1所述的一體式F-P壓力傳感器，其特征在于，復合介質膜（3）生長在 壓力膜片（2）的背面作為光反射面，壓力膜片（2）與插芯（5）通過陽極鍵合連接形成F-P腔， 插芯（5）通過固聯構件（4）與封裝外殼（1）連接。