[發(fā)明專利]輸送機(jī)械手和光刻設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610097161.6 | 申請日： | 2016-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN105904474B | 公開（公告）日： | 2020-03-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 松平泰尚 | 申請（專利權(quán)）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | B25J15/06 | 分類號： | B25J15/06;G03F7/20;B65G49/07 |
| 代理公司： | 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 輸送 機(jī)械手 光刻 設(shè)備 | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
- 簽名設(shè)備、檢驗設(shè)備、驗證設(shè)備、加密設(shè)備及解密設(shè)備
- 色彩調(diào)整設(shè)備、顯示設(shè)備、打印設(shè)備、圖像處理設(shè)備
- 驅(qū)動設(shè)備、定影設(shè)備和成像設(shè)備
- 發(fā)送設(shè)備、中繼設(shè)備和接收設(shè)備
- 定點設(shè)備、接口設(shè)備和顯示設(shè)備
- 傳輸設(shè)備、DP源設(shè)備、接收設(shè)備以及DP接受設(shè)備
- 設(shè)備綁定方法、設(shè)備、終端設(shè)備以及網(wǎng)絡(luò)側(cè)設(shè)備
- 設(shè)備、主設(shè)備及從設(shè)備
- 設(shè)備向設(shè)備轉(zhuǎn)發(fā)
