[發明專利]濺射靶及其制造方法在審
| 申請號： | 201610091337.7 | 申請日： | 2016-02-18 |
| 公開（公告）號： | CN105925942A | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | 館野諭 | 申請（專利權）人： | JX金屬株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;許偉群 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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