[發(fā)明專利]一種晶元在線監(jiān)測方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610091124.4
• 申請日: 2016-02-18
• 公開（公告）號: CN107093568B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賀業(yè)成;劉宇航
• 申請（專利權(quán)）人: 北大方正集團(tuán)有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 吳黎

1.一種晶元在線監(jiān)測方法，其特征在于，包括如下步驟：

實時獲取多個晶元的測試數(shù)據(jù)，每個晶元對應(yīng)多個測試數(shù)據(jù)；

計算每個晶元對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)的最大值和最小值之差值；

判斷所述差值是否超出預(yù)設(shè)差值閾值，若超出則對該晶元進(jìn)行預(yù)警；

根據(jù)每個晶元對應(yīng)的多個測試數(shù)據(jù)計算每個晶元的測試均值；

判斷所述測試均值是否超出第一閾值，若超出第一閾值則進(jìn)行第一報警處理，所述第一報警處理為停止當(dāng)前機(jī)臺的生產(chǎn)與運(yùn)行；

若所述測試均值未超出第一閾值，則判斷所述測試均值是否超出第二閾值，所述第二閾值小于所述第一閾值，若超出第二閾值，則進(jìn)行第二報警處理，所述第二報警處理為通知生產(chǎn)人員并繼續(xù)生產(chǎn)；

計算：

第一參數(shù)：Cp＝(USL-LSL)/6*Sigma；

第二參數(shù)：Cpu＝(USL-Mean)/3*Sigma；

第三參數(shù)：Cpl＝(Mean-LSL)/3*Sigma；

第四參數(shù)：Cpk＝Min(Cpu，Cpl)；

第五參數(shù)：(Sigma-(USL-LSL)/2)/(USL-LSL)/2；

其中，Mean為所有測試數(shù)據(jù)的平均值，Sigma為所有測試數(shù)據(jù)的方差，USL為規(guī)格上限，LSL為規(guī)格下限；

監(jiān)控所述第一參數(shù)、第二參數(shù)、第三參數(shù)、第四參數(shù)或第五參數(shù)中的部分或全部，超出相應(yīng)的預(yù)設(shè)閾值時進(jìn)行報警。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

判斷所述測試數(shù)據(jù)是否明顯偏離常規(guī)數(shù)據(jù)，若是則屏蔽該測試數(shù)據(jù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一閾值的上限為規(guī)格上限USL，所述第一閾值的下限為規(guī)格下限LSL，所述第二閾值的上限為UCL＝USL-3Sigma，所述第二閾值的下限為LCL＝LSL+3Sigma，其中Sigma為所有測試數(shù)據(jù)的方差。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的方法，其特征在于，還包括根據(jù)所述測試均值或所述差值生成圖表的步驟。

5.一種晶元在線監(jiān)測裝置，其特征在于，包括：

數(shù)據(jù)獲取單元，用于實時獲取多個晶元的測試數(shù)據(jù)，每個晶元對應(yīng)多個測試數(shù)據(jù)；

差值計算單元，用于計算每個晶元對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)的最大值和最小值之差值；

預(yù)警單元，用于判斷所述差值是否超出預(yù)設(shè)差值閾值，若超出則對該晶元進(jìn)行預(yù)警；

均值計算單元，用于根據(jù)每個晶元對應(yīng)的多個測試數(shù)據(jù)計算每個晶元的測試均值；

第一報警單元，用于判斷所述測試均值是否超出第一閾值，若超出第一閾值則進(jìn)行第一報警處理，所述第一報警處理為停止當(dāng)前機(jī)臺的生產(chǎn)與運(yùn)行；

第二報警單元，用于若所述測試均值未超出第一閾值，則判斷所述測試均值是否超出第二閾值，所述第二閾值小于所述第一閾值，若超出第二閾值，則進(jìn)行第二報警處理，所述第二報警處理為通知生產(chǎn)人員并繼續(xù)生產(chǎn)；

計算：

第一參數(shù)：Cp＝(USL-LSL)/6*Sigma；

第二參數(shù)：Cpu＝(USL-Mean)/3*Sigma；

第三參數(shù)：Cpl＝(Mean-LSL)/3*Sigma；

第四參數(shù)：Cpk＝Min(Cpu，Cpl)；

第五參數(shù)：(Sigma-(USL-LSL)/2)/(USL-LSL)/2；

其中，Mean為所有測試數(shù)據(jù)的平均值，Sigma為所有測試數(shù)據(jù)的方差，USL為規(guī)格上限，LSL為規(guī)格下限；

監(jiān)控所述第一參數(shù)、第二參數(shù)、第三參數(shù)、第四參數(shù)或第五參數(shù)中的部分或全部，超出相應(yīng)的預(yù)設(shè)閾值時進(jìn)行報警。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，還包括：

屏蔽單元，用于判斷所述測試數(shù)據(jù)是否明顯偏離常規(guī)數(shù)據(jù)，若是則屏蔽該測試數(shù)據(jù)。