[發(fā)明專利]一種均流裝置及反應(yīng)腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610090878.8
• 申請(qǐng)日: 2016-02-17
• 公開（公告）號(hào): CN107090575B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王福來
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種均流裝置，包括射頻蓋和噴淋盤，所述射頻蓋包括固定連接于一體的上下兩部分，其上部為圓盤狀的第一本體，其下部為環(huán)狀的第一連接部，所述第一連接部的外徑小于所述第一本體的直徑，所述噴淋盤包括固定連接于一體的上下兩部分，其上部為環(huán)形的第二連接部，其下部為圓盤狀的第二本體，所述第二連接部的外徑大于所述第二本體的直徑，其特征在于：

所述第一連接部與所述第二連接部分別在其各自的外側(cè)壁上沿周向設(shè)置有相互配合的卡合部件，以使所述射頻蓋和所述噴淋盤固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均流裝置，其特征在于：

所述卡合部件包括在所述第二連接部外側(cè)壁上沿周向均勻設(shè)置的至少兩個(gè)倒L形卡鉤，且所述卡鉤高于所述第二連接部的外側(cè)壁上表面，

以及在所述第一連接部外側(cè)壁上沿周向均勻設(shè)置的至少兩個(gè)與所述卡鉤形狀相配合的卡合槽，當(dāng)所述卡鉤卡合于所述卡合槽時(shí)，所述卡鉤可在開啟位置和閉合位置間旋轉(zhuǎn)，以使所述射頻蓋和所述噴淋盤開啟和閉合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的均流裝置，其特征在于：

所述卡合槽內(nèi)設(shè)置有鋼珠彈簧鎖緊裝置，當(dāng)所述射頻蓋和所述噴淋盤卡合并旋轉(zhuǎn)至閉合位置后，所述鋼珠彈簧鎖緊裝置鎖緊所述射頻蓋和所述噴淋盤。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均流裝置，其特征在于：所述第一連接部的下表面設(shè)置有環(huán)形凹槽，

所述第二連接部的上表面設(shè)置有與所述環(huán)形凹槽形狀相配合的環(huán)形凸臺(tái)，

所述第二連接部的環(huán)形凸臺(tái)與所述第一連接部的環(huán)形凹槽插接，以形成迷宮式路徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的均流裝置，其特征在于：

所述環(huán)形凹槽的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有環(huán)形臺(tái)階面，且所述環(huán)形臺(tái)階面為至少一個(gè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的均流裝置，其特征在于：

所述環(huán)形凹槽的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有環(huán)形安裝槽，

所述均流裝置還設(shè)置有彈性體，所述彈性體設(shè)置在所述安裝槽內(nèi)，且所述彈性體突出所述安裝槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的均流裝置，其特征在于：

所述環(huán)形凹槽的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有彈性體，所述彈性體和所述環(huán)形凹槽的內(nèi)側(cè)壁固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的均流裝置，其特征在于：

所述彈性體為高溫軟橡膠或軟金屬條。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的均流裝置，其特征在于：

當(dāng)所述彈性體為高溫軟橡膠時(shí)，與彈性體同時(shí)設(shè)置有螺線管。

10.一種反應(yīng)腔室，其特征在于：包括如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的均流裝置。