[發(fā)明專利]用于形狀記憶合金導(dǎo)線的晶片級(jí)集成的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610090270.5
• 申請(qǐng)日: 2011-11-22
• 公開（公告）號(hào): CN105719979B
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S.布勞恩;F.尼克勞斯;A.菲舍爾;H.格拉丁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 空氣傳感公司
• 主分類號(hào): H01L21/603
• 分類號(hào): H01L21/603
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張濤

1.將導(dǎo)線附著到基板的方法，其中所述導(dǎo)線被機(jī)械地附著到作為所述基板的一部分的3D結(jié)構(gòu)中，所述基板包括至少一個(gè)夾持結(jié)構(gòu)，并且所述方法還包括步驟：

通過在所述導(dǎo)線的一部分與所述3D結(jié)構(gòu)之間產(chǎn)生摩擦力或進(jìn)行錨定來固定所述導(dǎo)線，以及

通過施加力來截?cái)嗨鰧?dǎo)線，

其中所述導(dǎo)線通過錨定而在第一附著點(diǎn)被機(jī)械地附著到錨結(jié)構(gòu)，并且通過在所述導(dǎo)線與所述基板上的所述3D結(jié)構(gòu)之間產(chǎn)生摩擦力而在第二附著點(diǎn)附著到至少一個(gè)夾持結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述導(dǎo)線和/或所述夾持結(jié)構(gòu)是可變形的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中該方法還包括步驟：

當(dāng)使用導(dǎo)線結(jié)合器時(shí)，通過電氣放電在所述導(dǎo)線的一個(gè)末端產(chǎn)生自由空氣球，以便被所述錨結(jié)構(gòu)錨定，以及

將所述導(dǎo)線的另一末端導(dǎo)引到所述夾持結(jié)構(gòu)，以便所述導(dǎo)線的所述另一末端被夾持在所述夾持結(jié)構(gòu)的至少一對(duì)懸臂之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述導(dǎo)線被導(dǎo)線結(jié)合器的結(jié)合毛細(xì)管和結(jié)合力截?cái)唷?/p>

5.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中錨定包括鉤住、擠壓配合或在所述3D結(jié)構(gòu)中固定導(dǎo)線的所述一部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中所述自由空氣球被擠壓配合到作為所述3D結(jié)構(gòu)的一部分的可變形結(jié)構(gòu)中。

7.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中所述自由空氣球被擠壓配合到形成為V溝槽的所述3D結(jié)構(gòu)中。

8.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中所述自由空氣球被利用活塞來擠壓配合。

9.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中金屬膜被沉積到所述3D結(jié)構(gòu)上。

10.根據(jù)權(quán)利要求6的方法，其中被擠壓配合到所述3D結(jié)構(gòu)中的所述自由空氣球與附著到導(dǎo)線的一個(gè)末端的另一自由空氣球結(jié)合，該導(dǎo)線由此被截?cái)唷?/p>

11.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中所述自由空氣球通過使用粘合劑而被固定到所述3D結(jié)構(gòu)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中所述3D結(jié)構(gòu)形成為V溝槽。

13.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中3D結(jié)構(gòu)是咬接結(jié)構(gòu)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13的方法，其中所述咬接結(jié)構(gòu)包括彈簧負(fù)載。

15.導(dǎo)線結(jié)合器，包括用于饋送導(dǎo)線以便該導(dǎo)線被機(jī)械地附著到作為基板的一部分并且包括至少一個(gè)夾持結(jié)構(gòu)的3D結(jié)構(gòu)的結(jié)合毛細(xì)管，并且所述導(dǎo)線結(jié)合器被適配為執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1的步驟。

16.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述導(dǎo)線是SMA導(dǎo)線。

17.包括附著到基板的導(dǎo)線的裝置，其中所述導(dǎo)線被配置為機(jī)械地附著到所述基板上的3D結(jié)構(gòu)，其中所述基板包括具有至少一個(gè)夾持結(jié)構(gòu)的固定對(duì)，并且所述導(dǎo)線被配置為至少通過所述固定對(duì)而被機(jī)械地固定到所述基板并且通過導(dǎo)線結(jié)合器的結(jié)合毛細(xì)管和所施加的力而被截?cái)啵?/p>

其中所述導(dǎo)線在第一附著點(diǎn)被錨定到錨結(jié)構(gòu)，并且通過在所述基板上產(chǎn)生的摩擦力而在第二附著點(diǎn)附著到至少一個(gè)夾持結(jié)構(gòu)。

18.根據(jù)權(quán)利要求17的裝置，其中所述錨結(jié)構(gòu)被錨定在所述導(dǎo)線的一個(gè)末端處，該末端具有通過所述導(dǎo)線結(jié)合器的電氣放電產(chǎn)生的自由空氣球，并且所述夾持結(jié)構(gòu)被夾持在位于所述夾持結(jié)構(gòu)的至少一對(duì)懸臂之間的所述導(dǎo)線的另一末端處。