[發(fā)明專利]勞埃德鏡干涉微小尺度測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610090246.1
• 申請日: 2016-02-17
• 公開（公告）號: CN105526865B
• 公開（公告）日: 2018-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂洪方;譚小平;高熔蔓;王錦根
• 申請（專利權(quán)）人: 江漢大學(xué)
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/06
• 代理公司: 武漢開元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司42104
• 代理人: 俞鴻

1.一種勞埃德鏡干涉微小尺度測量裝置，包括光源(1)、透鏡(2)、狹縫裝置(3)、平面鏡(4)和光屏(5)，所述光源(1)發(fā)出的光經(jīng)透鏡(2)、狹縫裝置(3)和平面鏡(4)后在光屏(5)上產(chǎn)生干涉條紋，其特征在于：還包括光電轉(zhuǎn)化裝置(10)、數(shù)據(jù)處理模塊(11)、杠桿聯(lián)動(dòng)裝置(9)和底板(12)，所述光電轉(zhuǎn)化裝置(10)的探測頭與光屏(5)連接，所述光電轉(zhuǎn)化裝置(10)輸出端與數(shù)據(jù)處理模塊(11)輸入端電連接，所述平面鏡(4)通過導(dǎo)向裝置(8)安裝于杠桿聯(lián)動(dòng)裝置(9)的一端頂部，杠桿聯(lián)動(dòng)裝置(9)的另一端底部設(shè)置載物臺(tái)(6)，所述杠桿聯(lián)動(dòng)裝置(9)和導(dǎo)向裝置(8)均固定于底板(12)上；

所述杠桿聯(lián)動(dòng)裝置(9)包括支座(9.1)、轉(zhuǎn)軸(9.2)、支板(9.3)、支架(9.4)和旋轉(zhuǎn)塊(9.5)，所述支座(9.1)固定于底板(12)上，所述轉(zhuǎn)軸(9.2)固定于支座(9.1)上，所述旋轉(zhuǎn)塊(9.5)套在轉(zhuǎn)軸(9.2)上，所述支板(9.3)和支架(9.4)分別固定于旋轉(zhuǎn)塊(9.5)兩端，支板(9.3)上設(shè)有刻度線，所述平面鏡(4)通過導(dǎo)向裝置(8)安裝于支架(9.4)上，所述載物臺(tái)(6)設(shè)置于支板(9.3)底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勞埃德鏡干涉微小尺度測量裝置，其特征在于：所述導(dǎo)向裝置(8)包括橫桿(8.1)、豎桿(8.2)和圓柱筒(8.3)，所述圓柱筒(8.3)固定于底板(12)上，圓柱筒(8.3)中心沿軸向開有貫穿的通孔(8.4)，圓柱筒(8.3)側(cè)壁中部沿徑向開有貫穿的導(dǎo)向孔(8.5)，通孔(8.4)與導(dǎo)向孔(8.5)連通，所述橫桿(8.1)穿過圓柱筒上的導(dǎo)向孔，橫桿兩端套在支架(9.4)上，所述豎桿(8.2)底部伸入到圓柱筒的通孔內(nèi)與圓柱筒內(nèi)部的橫桿(8.1)固定連接，所述平面鏡(4)固定于豎桿(8.2)頂部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的勞埃德鏡干涉微小尺度測量裝置，其特征在于：所述導(dǎo)向孔(8.5)沿豎直方向的尺寸大于橫桿(8.1)沿豎直方向的尺寸，導(dǎo)向孔(8.5)沿水平方向的尺寸等于橫桿(8.1)沿水平方向的尺寸。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的勞埃德鏡干涉微小尺度測量裝置，其特征在于：所述支架(9.4)包括固定板(9.6)和兩個(gè)側(cè)安裝板(9.7)，所述固定板(9.6)固定于旋轉(zhuǎn)塊(9.5)一側(cè)，兩個(gè)側(cè)安裝板(9.7)分別固定于固定板(9.6)兩側(cè)并垂直于固定板，側(cè)安裝板(9.7)上開有滑孔(9.8)，所述橫桿(8.1)兩端分別位于兩個(gè)側(cè)安裝板的滑孔(9.8)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的勞埃德鏡干涉微小尺度測量裝置，其特征在于：所述滑孔(9.8)沿豎直方向的尺寸等于橫桿(8.1)沿豎直方向的尺寸，滑孔(9.8)沿水平方向的尺寸大于橫桿(8.1)沿水平方向的尺寸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勞埃德鏡干涉微小尺度測量裝置，其特征在于：所述支座(9.1)位于支板底部的一側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌(13)，所述載物臺(tái)(6)安裝于導(dǎo)軌(13)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勞埃德鏡干涉微小尺度測量裝置，其特征在于：所述光電轉(zhuǎn)化裝置(10)為光電探測儀。