[發(fā)明專利]電聲轉(zhuǎn)換器及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610089694.X
• 申請(qǐng)日: 2010-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN105680820B
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W.魯伊勒;M.邁耶;U.勒斯勒;M.豪澤;I.布萊爾;K-C.瓦格納;W.紹爾;M.雅各布;T.埃布納;E.施米德哈默;S.貝雷克;C.埃格斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 快速追蹤有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/125
• 分類號(hào): H03H9/125
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉春元

1.電聲轉(zhuǎn)換器，

－布置在聲軌跡中；

－具有壓電襯底；

－具有兩個(gè)布置在襯底上的電極，所述電極分別具有與匯流排連接、彼此咬合的電極指（EF）以用于激勵(lì)聲波；

－具有加重層；

－具有介電覆蓋層；

－其中轉(zhuǎn)換器被構(gòu)造為使得聲波在多個(gè)與聲軌跡平行延伸的區(qū)域（ZAB,IRB,ARB,SB）中經(jīng)歷不同的縱向傳播速度；

－具有擁有第一縱向速度的中心激勵(lì)區(qū)域（ZAB）；

－具有在兩側(cè)毗鄰中心激勵(lì)區(qū)域的內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB），在所述內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）中，縱向速度與中心激勵(lì)區(qū)域（ZAB）的縱向速度不同；

－具有毗鄰內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）的外邊緣區(qū)域（ARB），在所述外邊緣區(qū)域（ARB）中，縱向速度比在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）中高；

－具有毗鄰?fù)膺吘墔^(qū)域（ARB）的匯流排（SB）的區(qū)域，在所述匯流排（SB）的區(qū)域中，縱向速度比在外邊緣區(qū)域（ARB）中??；

－其中并且;

－其中k_x是波矢量在縱向上的分量，k_y是波矢量在橫向上的分量，并且k₀是主傳播方向上的波矢量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）中的縱向速度比在中心激勵(lì)區(qū)域（ZAB）中低。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述匯流排和電極指（EF）布置在壓電襯底上，所述壓電襯底具有比石英高的電聲耦合效率。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中電極指（EF）至少在沿著橫向的片段中在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）內(nèi)比在中心激勵(lì)區(qū)域（ZAB）中寬。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中電極指（EF）至少在沿著橫向的片段中在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）內(nèi)比在中心激勵(lì)區(qū)域（ZAB）中窄。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中電極指（EF）的寬度至少在沿著橫向的片段中在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）內(nèi)線性地改變。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中電極指（EF）至少在沿著橫向的片段中在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）內(nèi)比在中心激勵(lì)區(qū)域（ZAB）中高。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中電極指（EF）在中心激勵(lì)區(qū)域（ZAB）中比在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）、外邊緣區(qū)域（ARB）或匯流排（SB）的區(qū)域中高。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中電極指（EF）在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）內(nèi)的高度至少在沿著橫向的片段中階梯式地改變。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中電極指（EF）在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）內(nèi)的高度至少在沿著橫向的片段中線性地增加。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）中的電極指（EF）上至少在側(cè)面片段中布置有所述加重層的與電極材料不同的導(dǎo)電或介電材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述加重層的介電材料在內(nèi)邊緣區(qū)域（IRB）中布置在電極指（EF）上或電極指（EF）之間。

13.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述加重層布置在所述介電覆蓋層的上方或下方。

14.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述加重層覆蓋整個(gè)內(nèi)邊緣區(qū)域。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電聲轉(zhuǎn)換器，其中除了所述加重層外，還有介電層覆蓋內(nèi)邊緣區(qū)域之外的所有其他區(qū)域。