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[發明專利]階段性變壓精餾塔回收光刻膠剝離液的方法有效

專利信息
申請號: 201610089438.0 申請日: 2016-02-17
公開(公告)號: CN105523598B 公開(公告)日: 2019-03-05
發明(設計)人: 葉劍飛 申請(專利權)人: 安慶市鑫祥瑞環保科技有限公司
主分類號: C02F1/04 分類號: C02F1/04;C02F9/10;C02F103/34
代理公司: 合肥中谷知識產權代理事務所(普通合伙) 34146 代理人: 洪玲
地址: 246000 安徽省安*** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關鍵詞: 階段性 變壓 精餾塔 回收 光刻 剝離 方法
【權利要求書】:

1.階段性變壓精餾塔回收光刻膠剝離液的方法,其特征在于:其具體步驟為:

(1)向光刻膠剝離液中加入活性炭脫色并吸附金屬離子,經分離后,得到初級再生液;

(2)所得初級再生液在氮氣氛和抗氧化劑保護下經過四次精餾得到光刻膠剝離液合格品;

所述步驟2中四次精餾依次為:(1)常壓精餾;(2)低真空精餾;(3)高真空精餾;(4)正壓精餾;所述常壓精餾溫度范圍值為79~86℃,所述低真空精餾溫度值為100℃,所述低真空氣壓值為-0.1MPa,所述高真空精餾過程中的氣壓值為-0.06MPa,所述正壓精餾過程中的氣壓值為4MPa。

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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