[發明專利]階段性變壓精餾塔回收光刻膠剝離液的方法有效
| 申請號: | 201610089438.0 | 申請日: | 2016-02-17 |
| 公開(公告)號: | CN105523598B | 公開(公告)日: | 2019-03-05 |
| 發明(設計)人: | 葉劍飛 | 申請(專利權)人: | 安慶市鑫祥瑞環保科技有限公司 |
| 主分類號: | C02F1/04 | 分類號: | C02F1/04;C02F9/10;C02F103/34 |
| 代理公司: | 合肥中谷知識產權代理事務所(普通合伙) 34146 | 代理人: | 洪玲 |
| 地址: | 246000 安徽省安*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 階段性 變壓 精餾塔 回收 光刻 剝離 方法 | ||
1.階段性變壓精餾塔回收光刻膠剝離液的方法,其特征在于:其具體步驟為:
(1)向光刻膠剝離液中加入活性炭脫色并吸附金屬離子,經分離后,得到初級再生液;
(2)所得初級再生液在氮氣氛和抗氧化劑保護下經過四次精餾得到光刻膠剝離液合格品;
所述步驟2中四次精餾依次為:(1)常壓精餾;(2)低真空精餾;(3)高真空精餾;(4)正壓精餾;所述常壓精餾溫度范圍值為79~86℃,所述低真空精餾溫度值為100℃,所述低真空氣壓值為-0.1MPa,所述高真空精餾過程中的氣壓值為-0.06MPa,所述正壓精餾過程中的氣壓值為4MPa。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于安慶市鑫祥瑞環保科技有限公司,未經安慶市鑫祥瑞環保科技有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610089438.0/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種團聚劑及去除方法
- 下一篇:一種精簡攪拌分解槽





