[發明專利]用于測量沉積速率的設備在審
| 申請號： | 201610086605.6 | 申請日： | 2016-02-16 |
| 公開（公告）號： | CN106065465A | 公開（公告）日： | 2016-11-02 |
| 發明（設計）人： | 姜泰旻;曹永錫 | 申請（專利權）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/54 | 分類號： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人： | 劉燦強 |
| 地址： | 韓國京畿*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 測量 沉積 速率 設備 | ||
【說明書】：
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