[發明專利]基于MIM高靈敏度SPP太赫茲探測器

有效

• 申請號: 201610085878.9
• 申請日: 2016-02-15
• 公開（公告）號: CN105737975B
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 歐陽征標;陳治良
• 申請（專利權）人: 歐陽征標
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G01J1/02;G01J1/42
• 代理公司: 深圳力拓知識產權代理有限公司 44313
• 代理人: 龔健

1.一種基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：由一個矩形腔、一個太赫茲波吸收腔、一個銀塊、一個豎直波導、一個水平波導、三個金屬膜、一個太赫茲探測波、一個水平參考光和一個光電探測器組成；所述矩形腔設置于所述太赫茲探測波的輸入端；所述太赫茲波的入射端設置于所述矩形腔的上端；所述水平波導和所述豎直波導為金屬-絕緣體-金屬波導結構；所述太赫茲波吸收腔和所述豎直波導連接；所述豎直波導和所述水平波導連接；所述豎直波導內設置所述銀塊，且可以移動；所述光電探測器設置于所述水平波導的輸出端；所述太赫茲探測波入射到所述太赫茲波吸收腔內的時間為1ms，所述太赫茲探測波的探測強度為 0.6nw ～ 6nw。

2.按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP太赫茲波探測器，其特征在于：所述太赫茲波吸收腔的形狀為多邊形、圓形或者橢圓形。

3. 按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述太赫茲波吸收腔的形狀為矩形。

4.按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述太赫茲波吸收腔內的物質為高膨脹系數的物質。

5.按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述太赫茲波吸收腔內的物質為酒精。

6.按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述矩形腔內的物質為高透射率的物質。

7.按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述矩形腔內的物質為硅、鍺或者砷化鎵。

8.按照權利要求 1 所述的基于MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述金屬為金或者銀。

9.按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述絕緣體為透明物質。

10.按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述絕緣體為空氣、二氧化硅或者硅。

11.按照權利要求 1 所述的基于 MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述光電探測器的材料為硅。

12.按照權利要求 1 所述的基于MIM 高靈敏度 SPP 太赫茲波探測器，其特征在于：所述參考光的工作波長為 780nm，所述太赫茲探測波的波長為 3μm，其強度為 1.2nW～4.2nW。