[發明專利]一種變噴口微型固體火箭發動機及其制造方法

有效

• 申請號: 201610084050.1
• 申請日: 2016-02-06
• 公開（公告）號: CN105673252B
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: 陶智;李秋實;李海旺;紀國圣;吳弘濤;田騰躍
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: F02K9/34
• 分類號: F02K9/34;F02K9/97
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司11002
• 代理人: 郝瑞剛

1.一種變噴口微型固體火箭發動機，其特征在于：包括密封層和動力層，所述動力層的上表面開設有發動機凹槽，所述密封層蓋合在所述動力層的上表面，所述發動機凹槽包括依次連通的通氣槽、燃燒室和尾噴管，所述尾噴管的噴口端與所述動力層的一側邊緣連通，所述通氣槽的進口端與所述動力層相對的的另一側邊緣連通；

所述通氣槽、燃燒室和尾噴管一體成型；所述通氣槽、燃燒室與所述尾噴管均沿所述發動機凹槽的中心線設置；所述通氣槽的寬度為50um。

2.根據權利要求1所述的變噴口微型固體火箭發動機，其特征在于：所述密封層與所述動力層通過鍵合連接；所述密封層為玻璃層，所述動力層為硅片層。

3.根據權利要求1所述的變噴口微型固體火箭發動機，其特征在于：所述尾噴管沿燃料的噴射方向依次設有收縮段、喉管段和擴張段，所述喉管段用于過渡連接收縮段和所述擴張段。

4.一種制造權利要求1-3任一項所述變噴口微型固體火箭發動機的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1.在動力層上涂覆光刻膠；

S2.在掩膜版上刻蝕要制造的發動機凹槽的形狀，將S1得到的動力層放置在所述掩膜版下進行曝光，使所述掩膜版上發動機凹槽的形狀投射在所述動力層的光刻膠上，導致所述發動機凹槽的形狀投射到的光刻膠發生變性；

S3.將S2處理后的動力層進行顯影，將所述發生變性的光刻膠去除，使光刻膠下方的動力層的上表面顯露出所述發動機凹槽的形狀；

S4.對S3得到的動力層進行干法刻蝕，使顯露出的動力層表面形成發動機凹槽；

S5.剝離S4得到的動力層上殘余的光刻膠；

S6.將S5得到的動力層與密封層連接：在所述S6中，將S5得到的動力層與密封層鍵合連接，將所述動力層與密封層緊靠在一起，所述動力層接陽極，所述密封層接陰極，進行陽極鍵合。

5.根據權利要求4所述的變噴口微型固體火箭發動機的制造方法，其特征在于，在所述S1中，先在所述動力層上涂增粘劑，再涂覆光刻膠。

6.根據權利要求4所述的變噴口微型固體火箭發動機的制造方法，其特征在于，在所述S3中，將S2得到的動力層放在顯影液中顯影。

7.根據權利要求4所述的變噴口微型固體 火箭發動機的制造方法，其特征在于，在所述S4中，對所述顯露出的動力層通過保護氣體和刻蝕氣體的交替反應進行干法刻蝕。

8.根據權利要求4所述的變噴口微型固體火箭發動機的制造方法，其特征在于，在所述S5中，使用剝離劑將所述動力層上殘余的光刻膠全部剝離。