[發明專利]光阻噴涂機及其環狀結構在審
| 申請號： | 201610082217.0 | 申請日： | 2016-02-05 |
| 公開（公告）號： | CN105929637A | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | 蔡鄒佐;吳國經;蔡宗恒 | 申請（專利權）人： | 精材科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 中國臺灣桃園市中*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 噴涂 及其 環狀 結構 | ||
【說明書】：
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