[發明專利]可顯色使用壽命終點的吸附墊及其制造方法

在審

• 申請號: 201610082081.3
• 申請日: 2016-02-05
• 公開（公告）號: CN107042469A
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發明（設計）人: 馮崇智;姚伊蓬;王良光;宋欣如
• 申請（專利權）人: 三芳化學工業股份有限公司
• 主分類號: B24B37/27
• 分類號: B24B37/27;B32B27/06
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 陳小雯

技術領域

本發明涉及一種吸附墊及其制造方法，特別是涉及一種可顯色使用壽命終點的吸附墊及其制造方法。

背景技術

參考圖1，其顯示美國公告專利第US5,871,393號所揭示的具有現有吸附墊的研磨設備的示意圖。該研磨設備10包括一下平臺(Lower Base Plate)11、一吸附墊(Sheet)12、一基材(Workpiece)13、一上平臺(Upper Base Plate)14、一拋光墊(Polishing Pad)15及一研磨漿液(Slurry)16。該下平臺11是相對于該上平臺14。該吸附墊12設置于該下平臺11上，且該吸附墊12用以承載及固定該基材13。該拋光墊15固定于該上平臺14，且面向該下平臺11，用以對該基材13進行拋光。

該研磨設備10的作動方式如下。首先將該基材13置于該吸附墊12上，且該基材13被該吸附墊12吸住。接著，該上平臺14及該下平臺11以相反方向旋轉，且同時將該上平臺14向下移動，使該拋光墊15接觸到該基材13的表面，通過不斷補充該研磨漿液16以及該拋光墊15的作用，可對該基材13進行拋光作業。

但上述的該吸附墊12經長時間使用后，皆會面臨滲水至墊內而造成虹吸現象被破壞的情形，以致該基材13與該吸附墊12間的吸附力變差，進而使得該基材13無法拋平甚至破片。當上述的滲水情形發生時，即表示該吸附墊12已達使用壽命終點而必須更換。

然而，由于無法準確得知滲水情形發生的第一時間，故也無法在滲水情形發生的第一時間立即更換該吸附墊12，以致大量的基材13因拋光不良或破片而需廢棄。因此，若能準確判斷出滲水情形發生的第一時間(即吸附墊12的使用壽命終點)，并立即更換該吸附墊12，將可避免基材13的耗損。

基于上述理由，有必要提供一創新且具進步性的可顯色使用壽命終點的 吸附墊及其制造方法，以解決上述問題。

發明內容

本發明提供一種可顯色使用壽命終點的吸附墊，包括一吸附層、一染料膠囊層及一載體層。該吸附層具有一表面。該染料膠囊層設置于該吸附層的表面。該載體層貼合于該染料膠囊層上。

本發明另提供一種可顯色使用壽命終點的吸附墊的制造方法，包括以下步驟：提供一吸附層，該吸附層具有一表面；形成一染料膠囊層于該吸附層的表面；及貼合一載體層于該染料膠囊層上。

本發明的染料膠囊層可在吸附墊滲水后溶解出染料，透過染料的顯色效果，可輕易判斷出吸附墊的使用壽命終點。

為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本發明所述目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

附圖說明

圖1為美國公告專利第US5,871,393號所揭示的具有現有吸附墊的研磨設備的示意圖；

圖2為本發明可顯色使用壽命終點的吸附墊的結構示意圖；

圖3為本發明染料微膠囊的結構示意圖；

圖4為本發明另一實施例吸附墊的結構示意圖；

圖5為本發明可顯色使用壽命終點的吸附墊的滲水顯色示意圖；

圖6為本發明可顯色使用壽命終點的吸附墊的制造方法流程圖；

圖7A為本發明的制造方法中的一吸附層的示意圖；

圖7B為本發明的制造方法形成一染料膠囊層于吸附層的表面的示意圖；及

圖7C為本發明的制造方法貼合一載體層于染料膠囊層上的示意圖。

符號說明

10 研磨設備

11 下平臺

12 吸附墊

13 基材

14 上平臺

15 拋光墊

16 研磨漿液

20 可顯色使用壽命終點的吸附墊

21 吸附層

21S 表面

22 染料膠囊層

221 染料微膠囊

221C 水溶性膠囊體

221D 染料

23 載體層

24 粘著層

S61～S63 步驟

具體實施方式

參閱圖2，其顯示本發明可顯色使用壽命終點的吸附墊的結構示意圖。本發明的可顯色使用壽命終點的吸附墊20包括一吸附層21、一染料膠囊層22及一載體層23。

在本實施例中，該吸附層21為聚氨酯(PU)膜，且該吸附層21具有一表面21S。