[發明專利]一種微流體通道導通性的判定方法

有效

• 申請號: 201610082008.6
• 申請日: 2016-02-05
• 公開（公告）號: CN105547686B
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 李無瑕;李俊杰;金凌;顧長志
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: G01M13/00
• 分類號: G01M13/00
• 代理公司: 北京智匯東方知識產權代理事務所(普通合伙) 11391
• 代理人: 范曉斌;康正德

1.一種微流體通道導通性的判定方法，其具有如下步驟：

步驟1：將包括微流體通道和襯底的樣品固定在聚焦離子束/掃描電子顯微鏡雙束系統的樣品臺上；

步驟2：采用聚焦離子束或電子束誘導沉積技術，在所述襯底處制備一儲藏倉，所述儲藏倉與所述微流體通道的一端相連接；

步驟3：取出所述樣品，并且在所述樣品處敷涂跟蹤試劑，所述跟蹤試劑覆蓋所述微流體通道與所述儲藏倉；

步驟4：將步驟3中獲得的樣品加熱處理，直至跟蹤試劑進入所述微流體通道的內部；

步驟5：將步驟4中獲得的樣品冷卻，直至所述微流體通道內部的跟蹤試劑固化；

步驟6：清除所述微流體通道以外的所有跟蹤試劑；

步驟7：將步驟6中獲得的樣品放在聚焦離子束/掃描電子顯微鏡雙束系統的樣品臺處，采用聚焦離子束刻蝕技術，在所述微流體通道不同位置處獲得橫截面；

步驟8：采用掃描電子顯微鏡高分辨觀測步驟7中獲得的橫截面，判斷所述微流體通道的導通性能。

2.根據權利要求1所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，所述微流體通道為管狀通道，所述管狀通道的軸線平行于所述襯底。

3.根據權利要求2所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，所述儲藏倉為一中空的圓柱形，所述儲藏倉的軸線垂直于所述襯底，所述管狀通道的一端與所述儲藏倉的側壁連接，并且所述管狀通道與所述儲藏倉的內部連通。

4.根據權利要求3所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，所述儲藏倉的高度大于所述管狀通道的高度。

5.根據權利要求1所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，在步驟3中，所述跟蹤試劑為分散有納米顆粒的溶劑或光刻膠。

6.根據權利要求5所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，所述跟蹤試劑為正性光刻膠，所述步驟3具體為：使用膠頭滴定管蘸取少量的所述正性光刻膠，然后在所述樣品的管狀通道與儲藏倉的區域滴入一至三滴所述正性光刻膠，使得所述正性光刻膠覆蓋所述微流體通道與所述儲藏倉，并且所述正性光刻膠覆蓋的厚度高于所述儲藏倉的高度。

7.根據權利要求6所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，在步驟4中，所述加熱處理的溫度高于所述正性光刻膠的玻璃態溫度，并且將所述溫度維持5分鐘左右。

8.根據權利要求7所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，所述步驟6具體為，將步驟5中獲得的樣品進行紫外光輻照，使所述正性光刻膠變性，然后進行顯影與定影，同時清除管狀通道以外的變性的正性光刻膠。

9.根據權利要求8所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，所述顯影與定影過程具體為，將紫外光輻照后的樣品浸泡在顯影液中并維持1分鐘，取出后用去離子水沖洗，接著用氮氣槍吹干，最后將樣品放置在具有90℃溫度的熱板上烘烤2分鐘。

10.根據權利要求1-9中任一項所述的微流體通道導通性的判定方法，其特征在于，在步驟8中，若觀測到殼核結構或者具有不同原子襯度的剖面圖形，則表明所述微流體通道在該處導通，若觀測不到，則表明所述微流體通道在該處堵塞。