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[發明專利]用于氧化銦層的蝕刻劑組合物,蝕刻方法,使用它們的液晶顯示器陣列基板及其制造方法在審

專利信息
申請號: 201610079267.3 申請日: 2016-02-04
公開(公告)號: CN105907396A 公開(公告)日: 2016-08-31
發明(設計)人: 金泰完;安基熏;李昔準 申請(專利權)人: 東友精細化工有限公司
主分類號: C09K13/04 分類號: C09K13/04;G02F1/1362;G02F1/1368
代理公司: 北京度衡知識產權代理有限公司 11601 代理人: 鐘錦舜
地址: 韓國全*** 國省代碼: 韓國;KR
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 氧化 蝕刻 組合 方法 使用 它們 液晶顯示器 陣列 及其 制造
【權利要求書】:
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