[發(fā)明專利]石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏及其制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610078799.5
• 申請(qǐng)日: 2016-02-04
• 公開（公告）號(hào): CN105487721A
• 公開（公告）日: 2016-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘洪亮;余崇圣;谷峰;魏大鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶墨希科技有限公司
• 主分類號(hào): G06F3/041
• 分類號(hào): G06F3/041
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 武君

1.一種石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏，其特征在于：包括基底，所述基底上設(shè)有石墨烯 導(dǎo)電薄膜，所述石墨烯導(dǎo)電薄膜的兩側(cè)設(shè)有位于所述基底上的金屬材料，且所述石墨烯導(dǎo) 電薄膜上通過光學(xué)膠與其貼合設(shè)有蓋板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏，其特征在于：所述基底采用 PET、PMMA或PDMS制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏，其特征在于：所述石墨烯導(dǎo)電 薄膜包括一層石墨烯導(dǎo)電層、兩層石墨烯導(dǎo)電層、少數(shù)層石墨烯導(dǎo)電層或三維石墨烯材料 薄膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏，其特征在于：所述金屬材料為 銀、銀漿、銅、鎳、金、鋁、鈦合金或鎳合金。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏，其特征在于：所述石墨烯導(dǎo)電 薄膜蝕刻為設(shè)定的圖形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏，其特征在于：所述金屬材料蝕 刻為設(shè)定的電路。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏，其特征在于：所述光學(xué)膠采用 OCA光學(xué)膠。

8.一種用于制作如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的石墨烯自感式壓力傳感觸摸屏的制作方 法，其特征在于：包括如下步驟：

1）采用化學(xué)氣相淀積的方式在金屬上生長(zhǎng)石墨烯導(dǎo)電薄膜，將石墨烯導(dǎo)電薄膜轉(zhuǎn)移到 所述基底上，并在石墨烯導(dǎo)電薄膜的兩側(cè)堆積所述金屬材料；

2）采用蝕刻方法將石墨烯導(dǎo)電薄膜蝕刻為設(shè)定的圖形，以實(shí)現(xiàn)石墨烯導(dǎo)電薄膜的圖形 化；

3）采用蝕刻方法將金屬材料蝕刻為設(shè)定電路，并在所述電路中設(shè)計(jì)自感式電容屏信號(hào) 檢測(cè)電路和檢測(cè)每根石墨烯線路電阻信號(hào)的檢測(cè)電路；

4）在圖形化的所述石墨烯導(dǎo)電薄膜上貼合光學(xué)膠，以實(shí)現(xiàn)石墨烯壓力傳感器設(shè)計(jì)；

5）將所述石墨烯壓力傳感器與外圍IC電路進(jìn)行綁定，并貼合所述蓋板。