[發明專利]一種卷對卷連續石墨烯薄膜生長設備在審
| 申請號： | 201610076741.7 | 申請日： | 2016-01-31 |
| 公開（公告）號： | CN105752968A | 公開（公告）日： | 2016-07-13 |
| 發明（設計）人： | 孔令杰;吳克松;王釗 | 申請（專利權）人： | 安徽貝意克設備技術有限公司 |
| 主分類號： | C01B31/04 | 分類號： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 六安眾信知識產權代理事務所(普通合伙) 34123 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 連續 石墨 薄膜 生長 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種卷對卷連續石墨烯薄膜生長設備，它包括有機體，其特征在于：所述的機體上設有工作臺，工作臺兩端分別設有真空腔室a與真空腔室b，所述的真空腔室a與真空腔室b上連通有真空機組，所述的真空腔室a設有進氣口，且另一端的真空腔室b設有出氣口，所述的真空腔室a與真空腔室b內均設有放卷滾筒，同時放卷滾筒上設有旋轉電機，所述的真空腔室a與真空腔室b之間連接有真空管，所述的真空腔室a一側依次設有射頻等離子發生器、加熱爐、液氮冷阱。
2.根據權利要求1所述的一種卷對卷連續石墨烯薄膜生長設備，其特征在于：所述的射頻等離子發生器為PE線圈，所述的PE線圈纏繞在真空管上。
3.根據權利要求1所述的一種卷對卷連續石墨烯薄膜生長設備，其特征在于：所述的機體下端設有供氣系統、射頻電源、控制柜。
4.根據權利要求1所述的一種卷對卷連續石墨烯薄膜生長設備，其特征在于：所述的工作臺上設有觸摸屏。
5.根據權利要求1所述的一種卷對卷連續石墨烯薄膜生長設備，其特征在于：所述的真空腔室a與真空腔室b上設有可視窗。
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