[發(fā)明專利]一種透明導(dǎo)電薄膜及具有該透明導(dǎo)電薄膜的觸摸屏

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610075929.X
• 申請(qǐng)日: 2016-02-03
• 公開（公告）號(hào): CN105551582B
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 阮國宇;張玉春;王平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張家港康得新光電材料有限公司
• 主分類號(hào): H01B5/14
• 分類號(hào): H01B5/14;G06F3/041
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種透明導(dǎo)電薄膜，包括基材(11)和透明導(dǎo)電氧化物層(23)，其特征在于，所述基材(11)的一面依次設(shè)置有水汽阻隔層(21)，硅氧化合物層(22)，透明導(dǎo)電氧化物層(23)，所述水汽阻隔層(21)為摻雜氮化鋁的氮化硅，其中氮化鋁的摻雜質(zhì)量比為5％～35％；所述水汽阻隔層(21)折射率范圍為1.85～2.25，其結(jié)構(gòu)為SiAlN，其厚度范圍為8～30nm，還包括硅氧化合物層(22)，其結(jié)構(gòu)為SiOx，x范圍為1.5～2，所述硅氧化合物層(22)折射率為1.45～1.65，其厚度為10～60nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電薄膜，其特征在于，所述水汽阻隔層(21)為氧化鋁，所述水汽阻隔層(21)折射率范圍為1.65～1.85，其結(jié)構(gòu)為Al2O3，其厚度范圍為10～30nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電薄膜，其特征在于，所述水汽阻隔層(21)為氮化鋁，所述水汽阻隔層(21)折射率范圍為2.2～2.3，其結(jié)構(gòu)為AlN，其厚度范圍為8～20nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電薄膜，其特征在于，還包括紫外阻隔層(20)，其厚度為0.5-5μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的透明導(dǎo)電薄膜，其特征在于，所述紫外阻隔層(20)為具有UV截止功能的硬化層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電薄膜，其特征在于，所述透明導(dǎo)電氧化物層(23)為錫摻雜氧化銦或者鋁摻雜氧化鋅，摻雜質(zhì)量比為5％～10％，所述透明導(dǎo)電氧化物層(23)折射率范圍為1.9～2.1，其厚度范圍為10～35nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述透明導(dǎo)電薄膜，其特征在于，所述水汽阻隔層(21)，硅氧化物層(22)及透明氧化物層(23)均采用Roll-to-Roll磁控濺射連續(xù)工藝制備而成。

8.一種觸摸屏，其特征在于，包括權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電薄膜。