[發明專利]一種高靈敏度的雙端對諧振式聲表面波檢測器在審
| 申請號： | 201610075248.3 | 申請日： | 2016-02-03 |
| 公開（公告）號： | CN107040234A | 公開（公告）日： | 2017-08-11 |
| 發明（設計）人： | 劉久玲;何世堂;劉明華;孔銀鴿 | 申請（專利權）人： | 中國科學院聲學研究所 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/24;G01N29/02 |
| 代理公司： | 北京億騰知識產權代理事務所11309 | 代理人： | 陳霽 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 靈敏度 諧振 表面波 檢測器 | ||
1.一種雙端對諧振式聲表面波檢測器，包括制作在基片(1)上的雙端對諧振器，其特征在于，在所述基片(1)上設置有第二叉指換能器(3)，在所述第二叉指換能器(3)的兩側分別設置第一叉指換能器(2)和第三叉指換能器(4)，所述第二叉指換能器(3)和所述第一叉指換能器(2)形成間隔(7)，所述第二叉指換能器(3)和所述第三叉指換能器(4)形成間隔(8)；在所述第一叉指換能器(2)的另一側設置有第一金屬反射柵陣(5)，在所述第三叉指換能器(4)的另一側設置有第二金屬反射柵陣(6)；其中，
所述第一叉指換能器(2)、所述第二叉指換能器(3)和所述第三叉指換能器(4)的同步頻率相同；
所述間隔(7)與所述間隔(8)相等，且為所述第一叉指換能器(2)的波長、所述第二叉指換能器(3)的波長或所述第三叉指換能器(4)的波長的0-3.5倍，其中，所述同步頻率與所述波長的關系為：v＝λ×f，式中v為材料中的聲速、f為所述同步頻率以及λ為所述波長。
2.根據權利要求1所述的聲表面波檢測器，其特征在于，所述第一叉指換能器(2)、所述第二叉指換能器(3)、所述第三叉指換能器(4)、所述第一金屬反射柵陣(5)、所述第二金屬反射柵陣(6)的金屬化比相等，所述金屬化比為0.1-0.6。
3.根據權利要求1所述的聲表面波檢測器，其特征在于，所述第一金屬反射柵陣(5)和所述第二叉指換能器(3)形成間隔(9)，所述第二金屬反射柵陣(6)與所述第三叉指換能器(4)形成間隔(10)；
所述間隔(9)和所述間隔(10)相等，且為所述第一叉指換能器(2) 的波長、所述第二叉指換能器(3)的波長或所述第三叉指換能器(4)的波長的0.25-2.5倍。
4.根據權利要求1所述的聲表面波檢測器，其特征在于，所述基片(1)為36°YX-LiTaO3基片、42°YX-LiTaO3基片、ST-X石英基片、64°YX-LiNbO3基片和41°YX-LiNbO3基片中的一種。
5.根據權利要求1所述的聲表面波檢測器，其特征在于，所述第一金屬反射柵陣(5)和所述第二金屬反射柵陣(6)的同步頻率相同；
所述第一叉指換能器(2)、所述第二叉指換能器(3)或所述第三叉指換能器(4)的同步頻率是所述第一金屬反射柵陣(5)或所述第二金屬反射柵陣(6)的同步頻率的0.95-1.05倍。
6.根據權利要求1所述的聲表面波檢測器，其特征在于，所述第一叉指換能器(2)、所述第二叉指換能器(3)、所述第三叉指換能器(4)、所述第一金屬反射柵陣(5)和所述第二金屬反射柵陣(6)不加權。
7.根據權利要求1-6所述的聲表面波檢測器，其特征在于，所述聲表面波檢測器的頻率響應曲線中兩個縱向模式的能量幅度差距＞10dB，Q值＞2000，插入損耗＜6dB。
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