[發(fā)明專利]多工位組合式晶棒加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610074924.5
• 申請(qǐng)日: 2016-02-02
• 公開（公告）號(hào): CN105538112B
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧建偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天通日進(jìn)精密技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B24B27/00
• 分類號(hào): B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100
• 代理人: 王麗丹

1.一種多工位組合式晶棒加工設(shè)備，其特征在于，包括：

晶棒切割單元，用于將晶棒工件切割為第一預(yù)設(shè)形狀，所述第一預(yù)設(shè)形狀包括：截面為具有倒角的多邊形的棒體；

晶棒輸送單元，呈圓盤形或圓環(huán)形且能旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)以輸送晶棒工件；所述晶棒是以長(zhǎng)度方向沿上下方向豎立設(shè)置的；

設(shè)置于所述晶棒輸送單元的輸送行程上的至少第一工位及第二工位，所述第一工位設(shè)置有表面研磨單元，所述第二工位設(shè)置有滾圓/倒角研磨單元；

晶棒移送單元，用于將通過所述晶棒切割單元切割后的所述晶棒工件移送至所述晶棒輸送單元以及將隨所述晶棒輸送單元運(yùn)動(dòng)而經(jīng)所述第一工位及所述第二工位進(jìn)行加工后的所述晶棒工件移出所述晶棒輸送單元；

所述晶棒輸送單元的輸送行程上還設(shè)置有空位；

所述空位，用于作為所述輸送行程的起點(diǎn)而接納晶棒移送單元所移送來(lái)的進(jìn)行切割后的晶棒工件，以供所述晶棒輸送單元將其向下一工位輸送；

所述空位，還用于作為所述輸送行程的終點(diǎn)而接納經(jīng)歷所述各工位的加工后的晶棒工件，以供所述晶棒移送單元將其移出所述晶棒輸送單元；

所述晶棒輸送單元的空位設(shè)置有用于定位工件的定位單元，所述定位單元一端至少能上、下滑動(dòng)地連接于設(shè)在所述設(shè)備殼體的縱向延伸的滑移結(jié)構(gòu)；所述定位單元另一端形成一對(duì)爪部，用于抓握移送過來(lái)的晶棒工件以定位；

所述晶棒輸送單元包括：

圓盤形或圓環(huán)形本體，其圓弧形的周側(cè)表面設(shè)有齒帶；

驅(qū)動(dòng)電機(jī)及連接所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)而受所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括嚙合所述齒帶的轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪；

所述晶棒輸送單元在對(duì)應(yīng)晶棒工件的承載表面設(shè)有承載各所述晶棒工件且與各工位一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)承載臺(tái)；所述承載臺(tái)是能自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的；所述承載臺(tái)與所述晶棒工件的接觸面具有阻尼力，以提供帶動(dòng)所述晶棒工件自轉(zhuǎn)的摩擦力；

其特征在于，所述表面研磨單元包括：

第一容納空間，用于接納由所述晶棒輸送單元輸送來(lái)的所述晶棒工件；

至少一砂輪組件，設(shè)置于所述第一容納空間；所述第一容納空間內(nèi)設(shè)有橫向設(shè)置的供所述砂輪組件套接的能旋轉(zhuǎn)的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第一容納空間的豎側(cè)壁設(shè)有的縱向滑動(dòng)導(dǎo)引結(jié)構(gòu)間能相對(duì)滑動(dòng)地結(jié)合以令各砂輪組件能縱向運(yùn)動(dòng)，用于研磨所述第一容納空間中能進(jìn)行自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的所述晶棒工件的各個(gè)第一豎側(cè)面，所述第一豎側(cè)面是與所述晶棒工件的多邊形截面上倒角以外各邊對(duì)應(yīng)的豎側(cè)面。

2.根據(jù)權(quán)利要求 1所述的多工位組合式晶棒加工設(shè)備，其特征在于，每個(gè)砂輪組件包括：內(nèi)外套接在同一所述單軸或雙軸的粗磨砂輪及精磨砂輪，所述粗磨砂輪和精磨砂輪中的至少一者是能相對(duì)另一者沿所述單軸或雙軸向運(yùn)動(dòng)的。

3.根據(jù)權(quán)利要求 1 所述的多工位組合式晶棒加工設(shè)備，其特征在于，所述滾圓/倒角研磨單元包括：

第二容納空間，用于接納輸送來(lái)的晶棒工件；

至少一對(duì)磨輪，設(shè)置于所述第二容納空間，所述第二容納空間內(nèi)設(shè)有橫向設(shè)置的供所述各磨輪套接的能旋轉(zhuǎn)的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第二容納空間豎側(cè)壁設(shè)有的縱向滑動(dòng)導(dǎo)引結(jié)構(gòu)間能相對(duì)滑動(dòng)地結(jié)合以令各磨輪能縱向運(yùn)動(dòng)；且所述一對(duì)磨輪在縱向及橫向上相互錯(cuò)位地分置于所述第二容納中間中的晶棒工件兩側(cè)，用于以研磨所述第二容納空間中旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下的晶棒工件上與其多邊形截面倒角對(duì)應(yīng)的豎側(cè)面。

4.根據(jù)權(quán)利要求 1 所述的多工位組合式晶棒加工設(shè)備，其特征在于，還包括：設(shè)置于所述晶棒輸送單元的輸送行程上的第三工位，所述第三工位設(shè)置有表面拋光單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求 4 所述的多工位組合式晶棒加工設(shè)備，其特征在于，所述表面拋光單元包括：

第三容納空間，用于接納輸送來(lái)的晶棒工件；

至少一環(huán)形的毛刷，設(shè)置于所述第三容納空間；所述第三容納空間內(nèi)設(shè)有橫向設(shè)置的供所述各毛刷套接的能旋轉(zhuǎn)的單軸或雙軸，所述單軸或雙軸與所述第三容納空間豎側(cè)壁設(shè)有的縱向滑動(dòng)導(dǎo)引結(jié)構(gòu)間能相對(duì)滑動(dòng)地結(jié)合以令各毛刷能縱向運(yùn)動(dòng)，用于拋光所述第三容納空間中旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下的晶棒工件的各個(gè)豎側(cè)面。