[發明專利]一種熔鹽熱擴散處理設備及其應用

有效

• 申請號: 201610074177.5
• 申請日: 2016-02-02
• 公開（公告）號: CN107022733B
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 蘇興治;侯娟;俞國軍;陳燕軍;謝雷東;侯惠奇;王建強
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海應用物理研究所
• 主分類號: C23C8/54
• 分類號: C23C8/54;C23C8/44;C23C8/48;C23C8/42
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 薛琦;余化鵬

1.一種熔鹽熱擴散處理設備，其特征在于，其包括一供氣系統、一真空系統、一爐體、一循環水盤管、一樣品室、一坩堝和一支撐桿；

所述供氣系統通過進氣管與所述爐體的上部連通，所述真空系統通過第一出氣管與所述爐體的上部連通；所述循環水盤管套設于所述爐體的上部；

所述坩堝設于所述爐體的底部，所述坩堝包括坩堝本體和坩堝蓋板，所述坩堝本體的上端外側設有第一環形凹槽，所述坩堝蓋板開口向下包住坩堝口，并伸入所述第一環形凹槽中；

所述支撐桿依次貫穿所述爐體上的爐門、所述坩堝蓋板，并伸入所述坩堝中；所述支撐桿伸入所述坩堝的一端連有所述樣品室；所述爐體上的爐門用于將所述爐體的內部加熱系統和所述爐體的上部隔開。

2.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述供氣系統帶有氣體純化裝置；

所述供氣系統還包括載有惰性氣體的裝置；

所述真空系統為真空泵。

3.如權利要求2所述的設備，其特征在于，所述氣體純化裝置為能夠將進氣的水氧含量控制在1ppm以下的氣體純化裝置。

4.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述爐體的爐膛為多晶氧化鋁纖維固化爐膛；

所述爐體的頂端還設有一壓力表。

5.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述爐體為設有冷卻結構的爐體；

所述爐體的內部包括一測溫裝置和一溫控裝置；

所述爐體上的爐門為中間有孔徑的half蓋板；

所述爐體的頂端還設有一上蓋。

6.如權利要求5所述的設備，其特征在于，所述冷卻結構為雙層循環水冷結構；

所述測溫裝置和所述溫控裝置均為熱電偶；

所述孔徑大于所述支撐桿的直徑；

所述上蓋為設有手套箱過渡艙艙門的上蓋。

7.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述樣品室為不銹鋼材質的網籃；

所述坩堝的外側與所述爐體的內側間距大于20mm；

所述坩堝本體的上端內側設有一第二環形凹槽；所述第一環形凹槽中含有沙子。

8.如權利要求7所述的設備，其特征在于，所述第二環形槽中含有碳顆粒和/或金屬銅。

9.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述支撐桿上還設有一第一定位結和/或一第二定位結，所述第一定位結設于所述坩堝蓋板的上方，所述第二定位結設于所述坩堝蓋板的下端；

所述支撐桿的頂端設有可拆卸的把手；

所述坩堝、所述樣品室和所述支撐桿的材質均為不銹鋼或鎳。

10.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述熔鹽熱擴散處理設備還包括一泄壓閥，所述泄壓閥通過第二出氣管與所述爐體連通。

11.一種如權利要求1～10任一項所述熔鹽熱擴散處理設備作為金屬化學熱處理設備的應用。

12.如權利要求11所述的應用，其特征在于，所述化學熱處理為TD處理。