[發明專利]彩膜基板的制作方法有效
| 申請號: | 201610071592.5 | 申請日: | 2016-02-01 |
| 公開(公告)號: | CN105527744B | 公開(公告)日: | 2018-10-26 |
| 發明(設計)人: | 李安石 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1335 | 分類號: | G02F1/1335;G02F1/1339 |
| 代理公司: | 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 彩膜基板 制作方法 | ||
本發明提供一種彩膜基板的制作方法,先在彩色濾光膜層上形成一層負型光刻膠材料的光刻膠層,然后從襯底基板的下方對所述光刻膠層進行背面曝光,使光刻膠層靠近襯底基板側的部分固化,用于形成平坦化層,接著利用光罩從襯底基板的上方對光刻膠層進行正面曝光,用于形成隔墊物,最后通過對經過兩次曝光的光刻膠層進行顯影,將光刻膠層上未固化的部分去除掉,進而同時得到平坦化層、及位于平坦化層上的隔墊物,與現有的彩膜基板的制作方法相比,工藝流程大大簡化,從而減少了生產線上的設備投入,降低了產品的生產成本及制程中出現問題的風險,縮短了產品的生產周期。
技術領域
本發明涉及液晶顯示技術領域,尤其涉及一種彩膜基板的制作方法。
背景技術
液晶顯示裝置(LCD,Liquid Crystal Display)具有機身薄、省電、無輻射等眾多優點,得到了廣泛的應用?,F有市場上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示裝置,其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。通常液晶顯示面板由彩膜基板(CF,Color Filter)、薄膜晶體管基板(TFT,Thin Film Transistor)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(LC,Liquid Crystal)及密封膠框(Sealant)組成。其中,液晶層厚度即盒厚(Cell Gap)主要通過設置在陣列基板和彩膜基板之間的隔墊物(Post Spacer,PS)的高度來進行控制,液晶層厚度對液晶顯示裝置的結構參數和顯示質量有重要的影響,通常隔墊物形成于彩膜基板側。
彩膜基板一般包括基板、形成于基板上的黑色矩陣(Black Matrix,BM)及彩色濾光層;其中,彩色濾光層包括多個不同顏色的濾光單元,例如分別采用紅、綠和藍色感光樹脂形成的紅、綠和藍色綠光單元,黑色矩陣用于限定各個濾光單元之間的界限,為了防止相鄰濾光單元之間的漏光,通常會將濾光單元的邊緣重疊于黑色矩陣上,且各濾光單元并非同時形成,通常各濾光單元的膜厚也不完全相同,這樣就容易導致整個濾光層不平坦,因此,通常會在濾光層上再設置一平坦層,再在平坦層上設置隔墊物,用以保證液晶盒的盒厚和形狀,為起到多級緩沖的作用,以防止各種不良的發生,通常會使用兩種類型以上的隔墊物,隔墊物一般又包括主隔墊物(Main PS)和輔助隔墊物(Sub PS)。那么根據上述彩膜基板的結構,現有的彩膜基板的制作流程一般為:在基板上依次制作黑色矩陣、紅色濾光層、綠色濾光層、藍色濾光層、平坦層、輔助隔墊物、和主隔墊物,則共需要7道制程來制作完成彩膜基板。因此,現有的彩膜基板的制作方法,復雜程度高,工藝出現問題的幾率大,風險大。
因此,有必要提出一種新的彩膜基板的制作方法,以解決上述問題。
發明內容
本發明的目的在于提供一種彩膜基板的制作方法,能夠簡化彩膜基板的制作工藝流程,提升生產效率,降低生產成本。
為實現上述目的,本發明提供一種彩膜基板的制作方法,包括如下步驟:
步驟1、提供襯底基板,在所述襯底基板上形成黑色矩陣;
步驟2、在襯底基板及黑色矩陣上形成彩色濾光層;
步驟3、在所述彩色濾光層及黑色矩陣上涂布一層負型光刻膠,形成光刻膠層;
步驟4、從襯底基板的下方對所述光刻膠層進行背面曝光,曝光光線穿過襯底基板和彩色濾光層照射到所述光刻膠層上,使所述光刻膠層靠近襯底基板的部分固化;
步驟5、提供光罩,利用所述光罩從襯底基板的上方對所述光刻膠層進行正面曝光,使所述光刻膠層上對應所述光罩上的圖案的部分固化;
步驟6、對所述光刻膠層進行顯影,將所述光刻膠層上未固化的部分去除,得到平坦化層、及位于所述平坦化層上的隔墊物;
所述平坦化層為所述光刻膠層在步驟4中所固化的部分;
所述隔墊物為所述光刻膠層在步驟5中對應所述光罩上的圖案所固化的部分。
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