[發(fā)明專利]數(shù)顯式邁克爾遜干涉儀自動化測量系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610070593.8
• 申請日: 2016-02-01
• 公開（公告）號: CN105606231B
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黎碧蓮;黃金培
• 申請（專利權(quán)）人: 黎碧蓮;黃金培
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 廣州市華學(xué)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245
• 代理人: 黃磊

1.數(shù)顯式邁克爾遜干涉儀自動化測量系統(tǒng)，其特征在于：包括微調(diào)手輪驅(qū)動裝置、干涉環(huán)測量裝置、控制數(shù)顯主機(jī)、邁克爾遜干涉儀以及干涉條紋觀測屏；所述微調(diào)手輪驅(qū)動裝置將邁克爾遜干涉儀的微調(diào)手輪卡住，帶動微調(diào)手輪同步轉(zhuǎn)動，使邁克爾遜干涉儀的動鏡前進(jìn)或后退；所述干涉環(huán)測量裝置設(shè)置在干涉條紋觀測屏上，并與微調(diào)手輪驅(qū)動裝置連接；所述控制數(shù)顯主機(jī)與微調(diào)手輪驅(qū)動裝置連接；

所述干涉環(huán)測量裝置包括第二殼體、光敏元件、信號處理電路板、傳輸接口和狀態(tài)指示LED燈，所述光敏元件設(shè)置在第二殼體的一側(cè)，并對準(zhǔn)干涉條紋觀測屏；所述狀態(tài)指示LED燈設(shè)置在第二殼體的另一側(cè)；所述信號處理電路板設(shè)置在第二殼體內(nèi)，并與光敏元件和狀態(tài)指示LED燈連接；所述傳輸接口設(shè)置在第二殼體上，該傳輸接口與信號處理電路板連接，并通過數(shù)據(jù)線與微調(diào)手輪驅(qū)動裝置的SATA串口連接，信號處理電路板上設(shè)有直流隔離電路、放大電路、低通濾波電路、滯回比較器和微處理器，所述光敏元件采用光敏三極管或光敏二極管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)顯式邁克爾遜干涉儀自動化測量系統(tǒng)，其特征在于：所述微調(diào)手輪驅(qū)動裝置包括第一殼體、驅(qū)動電路板、驅(qū)動組件、卡座、卡口、九針串口和SATA串口，所述卡座安裝在第一殼體上，將微調(diào)手輪驅(qū)動裝置固定在邁克爾遜干涉儀上；所述驅(qū)動電路板、驅(qū)動組件和卡口設(shè)置在第一殼體內(nèi)，所述驅(qū)動電路板與驅(qū)動組件連接，所述驅(qū)動組件與邁克爾遜干涉儀的微調(diào)手輪連接，所述卡口將邁克爾遜干涉儀的微調(diào)手輪卡住；所述九針串口和SATA串口設(shè)置在第一殼體上，并與驅(qū)動電路板連接，所述九針串口通過數(shù)據(jù)線與控制數(shù)顯主機(jī)連接，所述SATA串口通過數(shù)據(jù)線與干涉環(huán)測量裝置連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的數(shù)顯式邁克爾遜干涉儀自動化測量系統(tǒng)，其特征在于：所述驅(qū)動組件包括直流電機(jī)、減速齒輪組、同步輪、同步皮帶、連接器和編碼器，所述直流電機(jī)和減速齒輪組安裝在橡膠基座上，所述直流電機(jī)與驅(qū)動電路板連接，直流電機(jī)的電機(jī)軸與減速齒輪組連接，所述減速齒輪組與同步輪相嚙合，所述同步輪通過同步皮帶與連接器連接，所述連接器與邁克爾遜干涉儀的微調(diào)手輪連接，所述卡口設(shè)置在連接器上，所述編碼器與連接器連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的數(shù)顯式邁克爾遜干涉儀自動化測量系統(tǒng)，其特征在于：所述編碼器采用大于或等于1000P/R的編碼器。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的數(shù)顯式邁克爾遜干涉儀自動化測量系統(tǒng)，其特征在于：所述控制數(shù)顯主機(jī)包括第三殼體、控制顯示電路板、液晶顯示屏和輸入鍵盤，所述控制顯示電路板設(shè)置在第三殼體內(nèi)，并通過數(shù)據(jù)線與微調(diào)手輪驅(qū)動裝置的九針串口連接；所述控制顯示電路板上設(shè)有微控制器，所述液晶顯示屏和輸入鍵盤設(shè)置在第三殼體上，并與微控制器連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的數(shù)顯式邁克爾遜干涉儀自動化測量系統(tǒng)，其特征在于：所述控制顯示電路板上還設(shè)有蜂鳴器，所述蜂鳴器與微控制器連接。