[發明專利]集束離子束裝置有效
| 申請號： | 201610069206.9 | 申請日： | 2016-02-01 |
| 公開（公告）號： | CN105845533B | 公開（公告）日： | 2019-09-03 |
| 發明（設計）人： | 八坂行人;小堺智一;松田修;杉山安彥;相田和男;荒卷文朗;大庭弘 | 申請（專利權）人： | 日本株式會社日立高新技術科學 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 搜索關鍵詞： | 集束 離子束 裝置 | ||
【權利要求書】：
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