[發明專利]半導體裝置有效
| 申請號： | 201610068979.5 | 申請日： | 2016-02-01 |
| 公開（公告）號： | CN106486528B | 公開（公告）日： | 2019-11-01 |
| 發明（設計）人： | 加藤浩朗;西脅達也;新井雅俊;勝田浩明;吉岡千香子;鉾本吉孝 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | H01L29/40 | 分類號： | H01L29/40;H01L29/423 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 楊謙;房永峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 | ||
【說明書】：
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