[發明專利]測試設備狀態自動監測裝置

在審

• 申請號: 201610067098.1
• 申請日: 2016-01-29
• 公開（公告）號: CN105654678A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 張寅;湯雪飛;張杰;王錦;郝丹丹;王華
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G08B21/18
• 分類號: G08B21/18
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種測試設備狀態自動監測裝置。

背景技術

集成電路在使用熱流罩測試成品芯片時,使用預設程序在一定時間內升降 熱流罩,使芯片在熱流罩中進行預定溫度的測試，從而達到測試目的。在熱流罩 內成品芯片測試完成后，熱流罩自動升起，生產人員需要更換成品芯片，然后 降下熱流罩繼續測試。

具體的，熱流罩在進行測試時，熱流罩通常會下降至合適高度，完全罩住 被測芯片。開始工作時，壓縮空氣經熱流罩系統加熱或降溫至合適溫度，高速 連續噴射至熱流罩腔體內進行熱交換，溫度監控到達指定溫度，達到熱平衡。 此時被測芯片可在規定要求溫度條件下進行功能測試，測試完成后熱流罩自動 升高解除罩住被測器件的狀態，此時生產人員更換被測成品芯片，周而復始。

現有的技術方案依靠生產人員實時關注熱流罩升降測試狀態，在發現測試 完畢時，必須第一時間進行芯片更換。若生產人員無法及時發現測試狀態變更， 造成時機損失，如遇到長時間未發現測試狀態變更，則會造成生產延期。

現有的熱流罩升起并沒有任何通知或者警示，以提醒生產人員。由于生產 人員精力有限，在生產中所能控制的機臺數量也有限，無法在第一時間發現熱 流罩升起。因此，有必要提出一種可以提醒生產人員測試完成，以便生產人員 能夠在第一時間進行芯片更換，提高測試效率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種測試設備狀態自動監測裝置，能夠提醒生產人 員熱流罩測試完畢，以便及時更換芯片，提高測試效率。

為了實現上述目的，本發明提出了一種測試設備狀態自動監測裝置，包括： 感應組件、警示組件及控制組件，其中，所述感應組件安裝在熱流罩升降桿上， 所述警示組件位于熱流罩上方，并與所述感應組件連接，所述控制組件連接所 述感應組件，控制所述感應組件的開和關。

進一步的，在所述的測試設備狀態自動監測裝置中，當所述熱流罩完成測 試升起時，所述感應組件控制所述警示組件發出報警信號；當所述熱流罩下降 進行測試時，所述感應組件控制所述警示組件停止報警信號。

進一步的，在所述的測試設備狀態自動監測裝置中，所述感應組件為限位 感應組件。

進一步的，在所述的測試設備狀態自動監測裝置中，所述警示組件為閃爍 燈。

進一步的，在所述的測試設備狀態自動監測裝置中，所述警示組件為蜂鳴 器。

進一步的，在所述的測試設備狀態自動監測裝置中，所述警示組件為閃爍 燈和蜂鳴器。

與現有技術相比，本發明的有益效果主要體現在：在熱流罩測試設備的升 降桿上安裝感應組件，當熱流罩完成測試升起時，感應組件感應到后控制警示 組件發出報警信號；當熱流罩下降進行測試時，感應組件控制警示組件停止報 警信號，從而能夠方便生產人員及時了解熱流罩測試設備是否測試完成，需要 更換芯片，提高測試效率。

附圖說明

圖1為本發明一實施例中測試設備狀態自動監測裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合示意圖對本發明的測試設備狀態自動監測裝置進行更詳細的描 述，其中表示了本發明的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此 描述的本發明，而仍然實現本發明的有利效果。因此，下列描述應當被理解為 對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本發明的限制。

為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公 知的功能和結構，因為它們會使本發明由于不必要的細節而混亂。應當認為在 任何實際實施例的開發中，必須做出大量實施細節以實現開發者的特定目標， 例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另 外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人 員來說僅僅是常規工作。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發明。根據下面說明和 權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡 化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例 的目的。