[發明專利]不銹鋼真空多弧離子鍍膜專用臥式連體爐

在審

• 申請號: 201610063209.1
• 申請日: 2016-01-31
• 公開（公告）號: CN105648406A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 李曉馬
• 申請（專利權）人: 李曉馬
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及不銹鋼真空多弧離子鍍膜專用臥式連體爐，利用一套真空泵組給兩個真空鍍色爐交替抽真空工作,主要應用于不銹鋼板真空鍍膜生產加工領域。

背景技術

目前，常規的不銹鋼鍍色爐都是一套單體爐形式，一個鍍色爐單獨配一套真空泵組,這樣的結構與組合形式有以下缺點:1、占用空間大；2、設備多,成本高；3、能耗高。因此，針對以上缺陷，對現有的不銹鋼真空多弧離子鍍膜臥式爐結構和配置進行合適改進，使之更合理與節能高效。

發明內容

針對以上缺陷，本發明提供一套新型不銹鋼真空鍍膜專用連體爐，最主要的優點是：結構緊湊、成本低，節省空間，能耗低。

本發明不銹鋼真空多弧離子鍍膜專用臥式連體爐采用的技術方案：在2臺擴散泵上方的冷卻井的上方設置一個H型連通管道，管道上方分別設置一個高閥，高閥用于連接擴散泵與2個爐體，在2個高閥側分別設置2條抽低真空的抽氣管道，管道上分別設有控制開閉管道的粗抽閥，2條管道經過并流后與1200羅茨泵、70泵相連。因此，抽低真空的泵組可以分別給兩個爐體抽真空，抽高真空的泵組可以分別給兩個爐體抽真空。

本發明不銹鋼真空鍍膜專用連體爐主要優點有：

1、結構緊湊，布局合理。

2、節省空間、成本低。

3、能耗低。

附圖說明

圖1為本發明不銹鋼真空多弧離子鍍膜專用臥式連體爐的整體結構示意圖。

附圖標記說明：1-爐，2-冷卻井，3-前置閥，4-1200羅茨泵，5-70泵，6-30泵，7-600羅茨泵，8-擴散泵，9-粗抽閥，10-高閥。

具體實施方式

下面結合附圖及具體實施例對本發明作進一步的詳細說明。

為了更容易理解本發明，下面以具體實施例詳細說明本發明的實施方式。

如圖1所示，本發明不銹鋼真空多弧離子鍍膜專用臥式連體爐，在2臺擴散泵（8）上方的冷卻井（2）的上方設置一個H型連通管道，所述的H型連通管道上方分別設置一個高閥（10），高閥分別用于連接擴散泵與2個爐體，在2個高閥側分別設置2條抽低真空的抽氣管道，管道上分別設有控制開閉管道的粗抽閥（9），2條管道經過并流后與1200羅茨泵（4）、70泵（5）相連；在2擴散泵（8）的底部分別設有抽氣管道，所述的抽氣管道經過匯流后與600羅茨泵（7）連通，所述的600羅茨泵的底部與1臺70泵、一臺30泵連通，70泵作為600泵的粗抽泵，30泵作為其維持泵。

綜上所述，本發明所述的內容及其具體實施方式，僅是為了以舉例的方式清楚的說明本發明的實質和內涵，并非以局限的方式限定在本發明構思基礎之上的變化方式之外，本領域的技術人員能夠在本發明的構思基礎上，任意的改變，但是如其基于發明思路結合本領域的公知常識及慣用手段，仍然屬于本發明的保護范圍之內。