[發(fā)明專利]一種基于石墨烯的光濾波器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610062949.3
• 申請日: 2016-01-30
• 公開（公告）號: CN105700201B
• 公開（公告）日: 2018-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賀夢冬;彭宇翔;王凱軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中南林業(yè)科技大學(xué)
• 主分類號: G02F1/00
• 分類號: G02F1/00;G02F1/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：包括光耦合結(jié)構(gòu)，所述光耦合結(jié)構(gòu)包括電解質(zhì)層、金屬電極、石墨烯條帶陣列、二氧化硅介質(zhì)層、金屬光柵和襯底，所述電解質(zhì)層與金屬電極之間設(shè)置有頂柵電壓的調(diào)節(jié)裝置；所述二氧化硅介質(zhì)層位于石墨烯條帶陣列和金屬光柵之間，所述石墨烯條帶陣列、二氧化硅介質(zhì)層、金屬光柵構(gòu)成Fabry-Perot微腔陣列，位于襯底上，所述電解質(zhì)層和金屬電極分別位于Fabry-Perot微腔的上方的同一平面上，所述金屬光柵位于襯底上，所述電解質(zhì)層和金屬電極與石墨烯條帶陣列相對設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：所述金屬光柵為金光柵或者銀光柵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：所述石墨烯條帶陣列中的石墨烯條帶與金屬光柵間隔設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：所述石墨烯條帶陣列中石墨烯條帶的寬為200-900納米；所述金屬光柵中相鄰兩條金屬的縫寬為20-90納米，所述金屬光柵中金屬的厚度為40-100納米。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：所述石墨烯條帶陣列中石墨烯條帶的寬為720納米；所述金屬光柵中相鄰兩條金屬的縫寬為40納米，所述金屬光柵中金屬的厚度為80納米。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：所述石墨烯條帶陣列的周期為2-9微米；金屬光柵的周期為2-9微米。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：所述石墨烯條帶陣列的周期和金屬光柵的周期均為8微米。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：所述二氧化硅介質(zhì)層的厚度為10-900納米；所述襯底為碳化硅層，所述碳化硅層的厚度為200-1000納米。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于石墨烯的光濾波器件，其特征在于：所述二氧化硅介質(zhì)層的厚度為20納米；碳化硅層的厚度為500納米。