[發明專利]半導體結構及其制造方法在審
| 申請號: | 201610061363.5 | 申請日: | 2016-01-28 |
| 公開(公告)號: | CN106486442A | 公開(公告)日: | 2017-03-08 |
| 發明(設計)人: | 湯子君;張守仁;陳韋廷;林胤藏;陳頡彥;王垂堂;吳凱強;呂俊麟 | 申請(專利權)人: | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/485 | 分類號: | H01L23/485;H01L23/528;H01L23/532;H01L23/60 |
| 代理公司: | 北京德恒律治知識產權代理有限公司11409 | 代理人: | 章社杲,李偉 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 結構 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】:
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