[發明專利]一種藍寶石化學機械拋光液在審
| 申請號： | 201610061056.7 | 申請日： | 2016-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN107011804A | 公開（公告）日： | 2017-08-04 |
| 發明（設計）人： | 徐志國 | 申請（專利權）人： | 浙江晶圣美納米科技有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 312300 浙江省紹興市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 藍寶石 化學 機械拋光 | ||
【權利要求書】：
1.本發明提供一種藍寶石化學機械拋光液，其特征在于：此拋光液包含膠體二氧化硅納米磨料以及拋光速率促進劑，所述拋光速率促進劑選自異氰酸硅烷類化合物。
2.根據權利要求1所述的一種藍寶石化學機械拋光液，其特征還在于：所述異氰酸硅烷類化合物為異氰酸丙基三乙氧基硅烷、3-硫氰基丙基三乙氧基硅烷、3-脲丙基三乙氧基硅烷。
3.根據權利要求1所述的一種藍寶石化學機械拋光液，其特征還在于，所述的拋光速率促進劑含量為0-10000ppm。
4.根據權利要求1所述的一種藍寶石化學機械拋光液，其特征還在于，優選的納米磨料包含燒結二氧化硅以及膠體二氧化硅。
5.根據權利要求1所述的一種藍寶石化學機械拋光液，其特征在于，其中所述納米磨料的重量百分含量為0.01-50.0wt％。
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