[發明專利]一種紫外激光器

在審

• 申請號: 201610058111.7
• 申請日: 2016-01-28
• 公開（公告）號: CN105576494A
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發明（設計）人: 肖磊;趙建濤;徐地華
• 申請（專利權）人: 廣東正業科技股份有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/117
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所 44268
• 代理人: 王永文;劉文求

1.一種紫外激光器，包括激光器腔體，其特征在于，所述激光器腔體內設置有：

第一泵浦激光光源；

第二泵浦激光光源；

第一鏡片；

第二鏡片；

激光晶體模塊；

紅外激光全反鏡；

聲光Q開關；

三倍頻晶體模組，包括三倍頻晶體和三倍頻晶體座，所述三倍頻晶體固定在三倍頻晶 體座上，通過三倍頻晶體座可調節三倍頻晶體的三個轉動自由度；

二倍頻晶體模組，包括二倍頻晶體和二倍頻晶體座，所述二倍頻晶體固定在二倍頻晶 體座上，通過二倍頻晶體座可調節二倍頻晶體的三個轉動自由度；

反射尾鏡；

所述第一泵浦激光光源發出的泵浦激光經過第一鏡片進入到激光晶體模塊中，所述第 二泵浦激光光源發出的泵浦激光經過第二鏡片進入到激光晶體模塊中；所述第一泵浦激光 光源發出的泵浦激光與所述第二泵浦激光光源發出的泵浦激光在激光晶體模塊中產生基 模振蕩并輸出基頻激光，所述紅外激光全反鏡將基頻激光反射到聲光Q開關中，聲光Q開關 將連續的基頻激光調制為脈沖基頻激光并輸出；所述脈沖基頻激光依次穿過所述三倍頻晶 體、二倍頻晶體后，經反射尾鏡反射回二倍頻晶體中；所述二倍頻晶體產生綠激光，并輸出 到三倍頻晶體中，由所述三倍頻晶體產生紫外激光。

2.根據權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述激光晶體模塊包括晶體座和設 置在晶體座內的激光晶體，所述激光晶體與晶體座之間設置有導熱膏。

3.根據權利要求2所述的紫外激光器，其特征在于，所述晶體座包括基座、橫截面為L形 的凸起和橫截面為倒L形的擋塊；所述凸起固定在所述基座上，所述擋塊設置在所述凸起 上，所述凸起和擋塊之間形成用于固定所述激光晶體的通道；所述導熱膏設置在激光晶體 與所述通道之間的縫隙中。

4.根據權利要求3所述的紫外激光器，其特征在于，所述激光晶體兩端面與所述通道之 間設置有硅橡膠圈，所述硅橡膠圈用于密封所述通道內的導熱膏。

5.根據權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述三倍頻晶體座包括三倍頻晶體 底座、第一支撐板、第一固定塊和第一組合圓柱體；所述三倍頻晶體底座上設置有至少三個 螺紋孔，所述三倍頻晶體底座通過與所述螺紋孔適配的固定螺釘固定在所述激光器腔體 內；所述第一支撐板豎直設置在所述三倍頻晶體底座上，所述第一支撐板上設置有一個銷 釘孔、至少兩個螺紋孔，所述第一固定塊的左側面上設置有與所述銷釘孔適配的圓柱凸起， 所述第一固定塊通過與第一支撐板上的螺紋孔適配的螺釘固定在第一支撐板上；所述第一 固定塊內設置有用于容納所述第一組合圓柱體的第一通孔，所述第一通孔的一端開設在第 一固定塊的正面，所述第一通孔的另一端開設在第一固定塊的反面；所述第一固定塊的頂 面設置有螺紋孔，所述第一固定塊頂面的螺紋孔與所述第一通孔連通，所述第一組合圓柱 體通過與第一固定塊頂面上的螺紋孔適配的壓緊螺釘固定在所述第一通孔內；所述第一組 合圓柱體的圓心處設置有用于固定所述三倍頻晶體的第一方孔。

6.根據權利要求5所述的紫外激光器，其特征在于，所述第一組合圓柱體包括第一瓣體 和第二瓣體，所述第一瓣體和第二瓣體的徑向截面為半圓形，所述第一瓣體的直邊側和第 二瓣體的直邊側均設置有矩形凹槽，所述第一瓣體的矩形凹槽和第二瓣體的矩形凹槽組合 成所述第一方孔；所述第一瓣體和第二瓣體內均設置有第一安裝孔，所述第一安裝孔內安 裝有溫度傳感器和用于給所述三倍頻晶體加熱的導線。

7.根據權利要求5所述的紫外激光器，其特征在于，所述三倍頻晶體與第一方孔之間的 間隙設置有導熱膏。