[發明專利]有機發光元件的有機層的制作方法

有效

• 申請號: 201610055543.2
• 申請日: 2016-01-27
• 公開（公告）號: CN107017343B
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 周卓輝;李宗翰;撒琉斯·格瑞葛雷維休斯;金塔蕊·可魯凱蒂
• 申請（專利權）人: 周卓輝
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;祁建國

1.一種有機發光元件的有機層的制作方法，是通過可控制蒸鍍順序的一臺蒸鍍機臺的輔助而完成，且所述蒸鍍機臺包括：

一機臺主體，具有一蒸鍍空間；

一加熱蒸鍍盤，設置于該蒸鍍空間的底部，且該加熱蒸鍍盤之上設置有復數個加熱電極；其中，該加熱電極具有一容器固定件；

復數個間隔板，每一個間隔板設置于兩個相鄰的加熱電極之間；

一真空模塊，連接于該機臺主體，用以使該蒸鍍空間呈現真空狀態；

一基板載具，相對于該加熱蒸鍍盤而設置在該蒸鍍空間的頂部，用以乘載至少一基板，使該基板相對于該加熱電極；

一膜厚感應器，設置于該蒸鍍空間內；以及

一擋板，設置于該蒸鍍空間內；

其特征在于，所述制作方法包含以下步驟：

(1)將復數種有機材料分別秤量配置；

(2)使用至少一種有機溶劑溶解該復數種有機材料，以形成復數種有機材料溶液；

(3)依據調配比例，均勻地混合該復數種有機材料溶液，以獲得一混合溶液；

(4)將該混合溶液置入一第一蒸鍍物質容器，進行真空干燥程序并產生一第一固態混合物質；接著，將該第一蒸鍍物質容器放置于該復數個加熱電極的一第一加熱電極的容器固定件之上；

(5)升起該復數個間隔板的一第一間隔板，并啟用該第一加熱電極加熱所述第一蒸鍍物質容器，利用氣相沉積的方式將該第一固態混合物質沉積至該基板的表面，而于該基板的表面形成一第一有機層；

(6)利用該膜厚感應器監測該第一有機層的膜厚；

(7)于該第一有機層的膜厚達到預定的厚度之后，啟用該擋板遮蔽該基板，避免所述第一固態混合物質繼續沉積至該基板的表面；

(8)關閉該第一加熱電極，完成所述有機發光元件的該第一有機層的制作程序。

2.根據權利要求1所述的有機發光元件的有機層的制作方法，其特征在于，更包括下述步驟：

(9)是否需要繼續制作一第二有機層，若是，則執行步驟(10)；若否，則步驟結束；

(10)重復前述步驟(1)至步驟(3)；

(11)將該混合溶液置入一第二蒸鍍物質容器，進行真空干燥程序并產生一第二固態混合物質；接著，將該第二蒸鍍物質容器放置于該復數個加熱電極的一第二加熱電極的容器固定件之上；

(12)升起該復數個間隔板的一第二間隔板，并啟用該第二加熱電極加熱所述第二蒸鍍物質容器，進而利用氣相沉積的方式將該第二固態混合物質沉積至該基板的表面，并于該第一有機層之上形成一第二有機層；

(13)利用該膜厚感應器監測該第二有機層的膜厚；

(14)于該第二有機層的膜厚達到預定的厚度之后，啟用該擋板遮蔽該基板，避免所述第二固態混合物質繼續沉積至該基板的表面；

(15)關閉該第二加熱電極，完成所述有機發光元件的該第二有機層的制作程序。

3.根據權利要求2所述的有機發光元件的有機層的制作方法，其特征在于，該有機溶劑選自下列群組的任一者：甲苯溶劑、丙酮溶劑以及四氫呋喃溶劑。

4.根據權利要求2所述的有機發光元件的有機層的制作方法，其特征在于，該有機材料為一發光材料，且該發光材料選自下列群組的任一者：熒光發光材料、磷光發光材料以及包含上述兩材料的混合材料。

5.根據權利要求2所述的有機發光元件的有機層的制作方法，其特征在于，該有機材料為一主體材料，且該主體材料選自下列群組的任一者：Alq3材料、DPVBi材料、BANE材料、Rubrene材料、CBP材料以及上述材料的混合材料。

6.根據權利要求2所述的有機發光元件的有機層的制作方法，其特征在于，該有機材料選自下列群組的任一者：電子傳輸層材料、電子注入層材料、空穴傳輸層材料、空穴注入層材料、空穴阻擋層材料以及功能性輔助材料。

7.根據權利要求1所述的有機發光元件的有機層的制作方法，其特征在于，該基板為一硬質基板或一可撓性基板。