[發(fā)明專利]一種氣墊運(yùn)輸裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610055151.6
• 申請(qǐng)日: 2016-01-27
• 公開（公告）號(hào): CN105564989B
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任大清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號(hào): B65G51/02
• 分類號(hào): B65G51/02
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)31275
• 代理人: 吳世華,尹英

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及運(yùn)輸設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種適用于運(yùn)輸精密半導(dǎo)體集成電路設(shè)備的氣墊運(yùn)輸裝置及方法。

背景技術(shù)

公知的工廠內(nèi)搬運(yùn)設(shè)備的運(yùn)輸裝置包括行車、叉車以及人力搬運(yùn)小車等。這些現(xiàn)有常規(guī)運(yùn)輸裝置往往存在運(yùn)輸不平穩(wěn)、定位精度較差及易產(chǎn)生運(yùn)輸過(guò)程中的震動(dòng)問(wèn)題。并且，使用叉車以及人力搬運(yùn)小車等在平整光滑和不能承受重壓的環(huán)氧地坪上搬運(yùn)設(shè)備，還很容易造成對(duì)地面的損壞。此外，如果在無(wú)塵室內(nèi)使用前述常規(guī)的運(yùn)輸裝置搬運(yùn)設(shè)備，還會(huì)帶來(lái)灰塵，造成污染。

對(duì)于精密半導(dǎo)體集成電路設(shè)備來(lái)說(shuō)，由于其對(duì)運(yùn)輸過(guò)程中的平穩(wěn)性和防震要求很高，上述通常的運(yùn)輸裝置難以適用于較好地安全運(yùn)輸這些精密且昂貴的半導(dǎo)體集成電路設(shè)備。

目前，在半導(dǎo)體設(shè)備安裝中，氣墊運(yùn)輸技術(shù)已開始應(yīng)用于搬運(yùn)精密半導(dǎo)體集成電路設(shè)備。采用氣墊方式進(jìn)行設(shè)備搬運(yùn)，可利用氣墊的墊升作用使運(yùn)輸裝置與地面脫離，由于氣墊與地面之間產(chǎn)生的摩擦阻力很小，因而可以較小的牽引力來(lái)移動(dòng)設(shè)備，并易于精確定位。而且，氣墊對(duì)地面產(chǎn)生的壓強(qiáng)也較小，因此能夠很好的保護(hù)地面不受損傷。

然而，現(xiàn)有的氣墊運(yùn)輸設(shè)備在氣墊具有摩擦阻力小的優(yōu)勢(shì)同時(shí)，也同樣會(huì)因摩擦阻力小,使得被運(yùn)物件容易四處漂移,從而不利于設(shè)備的平穩(wěn)運(yùn)輸，且對(duì)精確定位帶來(lái)了不利影響,并存在碰撞等安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種氣墊運(yùn)輸裝置及方法，可利用氣墊墊升作用及產(chǎn)生的側(cè)向推力,來(lái)平穩(wěn)安全地轉(zhuǎn)運(yùn)精密設(shè)備。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種氣墊運(yùn)輸裝置，包括：

若干氣墊模塊，其分散承載待運(yùn)物體，各氣墊模塊的下端面設(shè)有多數(shù)個(gè)下噴口，用于噴出氣體產(chǎn)生氣墊，抬舉起待運(yùn)物體；各氣墊模塊的四側(cè)分設(shè)有多數(shù)個(gè)側(cè)噴口，用于噴出氣體產(chǎn)生對(duì)待運(yùn)物體的側(cè)向推力；

控制模塊，固定放置在待運(yùn)物體上，其對(duì)通入各氣墊模塊下噴口、側(cè)噴口的氣體流量分別進(jìn)行伺服控制，以使各氣墊模塊產(chǎn)生對(duì)應(yīng)高度的氣墊以及一致的側(cè)向推力，將待運(yùn)物體水平抬舉起并推進(jìn)其水平運(yùn)動(dòng)；

其中，各氣墊模塊的下噴口、每側(cè)的側(cè)噴口通過(guò)支進(jìn)氣管分別連接主進(jìn)氣管，所述控制模塊設(shè)有伺服控制電路單元和流量控制單元，所述流量控制單元設(shè)于主進(jìn)氣管與支進(jìn)氣管之間，所述伺服控制電路單元通過(guò)流量控制單元分別調(diào)節(jié)從主進(jìn)氣管輸入各支進(jìn)氣管的氣體壓力和流量；所述控制模塊還設(shè)有運(yùn)動(dòng)檢測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)待運(yùn)物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，所述運(yùn)動(dòng)檢測(cè)模塊連接伺服控制電路單元；支進(jìn)氣管以及主進(jìn)氣管采用軟管形式，在控制模塊、各氣墊模塊之間無(wú)須采用其他固定的連接結(jié)構(gòu)，便于在與待運(yùn)物體配合時(shí)調(diào)整氣墊模塊與控制模塊及待運(yùn)物體之間的相對(duì)位置，并適應(yīng)待運(yùn)物體的不同形狀大小，且氣墊模塊的具體數(shù)量根據(jù)待運(yùn)物體的形狀大小進(jìn)行配置。

優(yōu)選地，所述氣墊模塊包括本體，下噴口設(shè)于本體的下端面，側(cè)噴口設(shè)于本體的四側(cè)；本體設(shè)有進(jìn)氣口，進(jìn)氣口一端連接下噴口、側(cè)噴口，并通過(guò)閥組對(duì)每側(cè)的側(cè)噴口進(jìn)行切換，另一端連接支進(jìn)氣管，所述閥組連接伺服控制電路單元。

優(yōu)選地，所述流量控制單元在各支進(jìn)氣管分別設(shè)有壓力和流量控制閥。

優(yōu)選地，所述運(yùn)動(dòng)檢測(cè)模塊為三維加速度傳感器或陀螺儀。

優(yōu)選地，所述控制模塊還設(shè)有氣壓檢測(cè)模塊，用于監(jiān)測(cè)從主進(jìn)氣管輸入的氣體壓力，所述氣壓檢測(cè)模塊連接伺服控制電路單元。

優(yōu)選地，所述氣壓檢測(cè)模塊為壓力傳感器或壓力表。

一種基于權(quán)利要求1所述的氣墊運(yùn)輸裝置的氣墊運(yùn)輸方法，包括：

步驟一：將待運(yùn)物體放置在分散設(shè)置的若干個(gè)氣墊模塊上，將控制模塊固定放置在待運(yùn)物體上，并連接各氣墊模塊；

步驟二：打開主進(jìn)氣管，通入壓縮氣體，并通過(guò)控制模塊分別伺服控制通向各氣墊模塊的氣體壓力和流量，使各氣墊模塊的下噴口向下噴出高壓氣體產(chǎn)生對(duì)應(yīng)高度的氣墊，將待運(yùn)物體水平抬舉起；

步驟三：通過(guò)控制模塊分別控制各氣墊模塊某同側(cè)的側(cè)噴口噴出高壓氣體，使之聯(lián)合產(chǎn)生一致的側(cè)向推力，來(lái)控制待運(yùn)物體向前后或左右運(yùn)動(dòng)進(jìn)行運(yùn)輸；與此同時(shí)，通過(guò)控制模塊設(shè)有的運(yùn)動(dòng)檢測(cè)模塊，對(duì)待運(yùn)物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，并通過(guò)伺服控制對(duì)通入各氣墊模塊下噴口及側(cè)噴口的壓縮氣體流量進(jìn)行自動(dòng)控制，來(lái)糾正運(yùn)動(dòng)偏差。