[發(fā)明專利]一種可實(shí)現(xiàn)像素化光瞳的極紫外光刻自由曲面照明系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610053543.9
• 申請日: 2016-01-26
• 公開（公告）號: CN105892234B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李艷秋;梅秋麗
• 申請（專利權(quán)）人: 北京理工大學(xué)
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心11120
• 代理人: 劉芳,仇蕾安

1.一種可實(shí)現(xiàn)像素化光瞳的極紫外光刻自由曲面照明系統(tǒng)，其特征在于，沿著光路傳播方向，所述系統(tǒng)包括三組反射鏡，第一組反射鏡由視場復(fù)眼陣列組成，第二組反射鏡由光闌復(fù)眼陣列組成，第三組反射鏡為中繼鏡組；其中，所述視場復(fù)眼陣列由N個視場復(fù)眼構(gòu)成，每一視場復(fù)眼為一個自由曲面反射鏡，每一反射鏡的反射面為矩形，且所有矩形的尺寸均不相同；所述光闌復(fù)眼陣列由N個光闌復(fù)眼構(gòu)成，每一光闌復(fù)眼為一個球面反射鏡或自由曲面反射鏡，每一反射鏡的反射面均為矩形，且所有矩形的尺寸相同；視場復(fù)眼陣列上的N個視場復(fù)眼與光闌復(fù)眼陣列上的N個光闌復(fù)眼一一對應(yīng)，所述N為照明系統(tǒng)出瞳面上光強(qiáng)值不為零的像素的總數(shù)；

所述光闌復(fù)眼用于將入射光束反射至與其對應(yīng)的光闌復(fù)眼上，并且在光闌復(fù)眼上形成一個弧形光斑；所述光闌復(fù)眼用于對入射的弧形光斑進(jìn)行整形，使其反射一設(shè)定尺寸且均勻的弧形光斑至中繼鏡組；所述中繼鏡組用于將入射的的弧形光斑成像于掩模面上，且掩模面上所有弧形光斑的尺寸相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述可實(shí)現(xiàn)像素化光瞳的極紫外光刻自由曲面照明系統(tǒng)，其特征在于，所述中繼鏡組由兩個二次曲面反射鏡構(gòu)成，還用于將光闌復(fù)眼成像于所述照明系統(tǒng)所處的投影式光刻機(jī)的投影物鏡的入瞳面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述可實(shí)現(xiàn)像素化光瞳的極紫外光刻自由曲面照明系統(tǒng)，其特征在于，作為視場復(fù)眼的自由曲面反射鏡的反射面尺寸確定原則為：反射面所反射的每一個子光束所包含的光強(qiáng)與給定出瞳面上對應(yīng)像素的光強(qiáng)值相同。