[發(fā)明專利]一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610052136.6
• 申請(qǐng)日: 2016-01-26
• 公開（公告）號(hào): CN105525274A
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李成明;趙云;安康;劉金龍;黑立富;魏俊俊;陳良賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京科技大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 11237
• 代理人: 張仲波

1.一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，其特征在于：所 述石英鐘罩下端為圓柱形筒，上端為帶有多個(gè)石英圓環(huán)的半球形封口。

2.如權(quán)利要求1所述用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，其 特征在于：所述石英圓環(huán)數(shù)量為1～3個(gè)，呈水平陣列分布于半球形封口的中下 部，石英圓環(huán)的外徑與圓柱形筒的外徑相同，且石英圓環(huán)的厚度不大于圓柱形 筒的壁厚。

3.如權(quán)利要求1所述用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，其 特征在于：所述石英鐘罩包括下端圓柱形筒(1)和上端帶有三個(gè)石英圓環(huán)(3) 的半球形封口(2)，且三個(gè)石英圓環(huán)(3)的外徑與圓柱形筒(2)的外徑相同， 厚度為圓柱形筒(2)壁厚的一半。