[發(fā)明專利]光阻儲液罐和光阻涂布機

有效

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• 申請日: 2016-01-26
• 公開（公告）號: CN105499081B
• 公開（公告）日: 2017-12-29
• 發(fā)明（設計）人: 孟小龍
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: B05C11/11
• 分類號: B05C11/11;B05C11/10;B08B9/08
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強

技術(shù)領域

本發(fā)明涉及光阻涂布技術(shù)領域，尤其涉及一種光阻儲液罐及一種具有所述光阻儲液罐的光阻涂布機。

背景技術(shù)

根據(jù)實際生產(chǎn)情況，光阻涂布機需要在基板上涂布不同的光阻。在涂布過程中，光阻涂布機中的光阻儲液罐隨著噴嘴移動，光阻儲液罐內(nèi)的光阻液面將發(fā)生激蕩，從而導致部分光阻沉積、殘留在光阻儲液罐的內(nèi)壁上。現(xiàn)有技術(shù)中的光阻儲液罐，在光阻涂布機完成上一批次的光阻涂布后，需要經(jīng)過多次清洗劑清洗和基板傳片測試過程來清除光阻儲液罐內(nèi)壁上殘留的光阻。之后，光阻涂布機才可以進行下一批次的光阻涂布。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種光阻儲液罐及一種具有所述光阻儲液罐的光阻涂布機，僅通過清洗劑清洗過程就能夠清除光阻儲液罐內(nèi)壁上殘留的光阻。

一種光阻儲液罐，包括：儲液罐主體、儲液管、偵測管、第一液位計和第二液位計，所述儲液罐主體具有頂蓋和底部；所述儲液管設置在所述頂蓋上并貫穿所述頂蓋，所述儲液管包括相對設置的第一端和第二端，所述第一端與所述儲液罐主體貫通；所述偵測管的一端與所述底部相連且與所述儲液罐主體貫通，所述偵測管的另一端與所述儲液管貫通；所述第一液位計設置在所述偵測管上靠近所述底部的一端；所述第二液位計設置在所述偵測管上位于所述底部與所述頂蓋之間的位置。

其中，所述光阻儲液罐還包括第三液位計，所述第三液位計設置在所述偵測管上位于所述頂蓋與所述第二端之間的位置。

其中，所述光阻儲液罐還包括空氣導管和閥門，所述空氣導管的一端與所述儲液管的所述第二端連通，所述閥門設置在所述空氣導管上。

其中，所述光阻儲液罐還包括導液管，所述導液管設置在所述儲液罐主體的所述底部，并與所述儲液罐主體連通。

一種光阻涂布機，包括光阻儲液罐，所述光阻儲液罐包括：儲液罐主體、儲液管、偵測管、第一液位計和第二液位計，所述儲液罐主體具有頂蓋和底部；所述儲液管設置在所述頂蓋上并貫穿所述頂蓋，所述儲液管包括相對設置的第一端和第二端，所述第一端與所述儲液罐主體貫通；所述偵測管的一端與所述底部相連且與所述儲液罐主體貫通，所述偵測管的另一端與所述儲液管貫通；所述第一液位計設置在所述偵測管上靠近所述底部的一端；所述第二液位計設置在所述偵測管上位于所述底部與所述頂蓋之間的位置。

其中，所述光阻儲液罐還包括第三液位計，所述第三液位計設置在所述偵測管上位于所述頂蓋與所述第二端之間的位置。

其中，所述光阻儲液罐還包括空氣導管和閥門，所述空氣導管的一端與所述儲液管的所述第二端相連，所述閥門設置在所述空氣導管上。

其中，所述光阻儲液罐還包括導液管，所述導液管設置在所述儲液罐主體的所述底部，并與所述儲液罐主體連通；所述光阻涂布機還包括噴嘴，所述噴嘴與所述導液管上遠離所述底部的一端相連。

因此，本發(fā)明的光阻儲液罐及光阻涂布機，通過設置儲液管、偵測管，以及安裝在所述偵測管上的液位計，在清潔所述光阻儲液罐的過程中，所述光阻儲液罐主體及所述儲液管均中盛裝有清洗液，清洗液能夠完全覆蓋光阻儲液罐內(nèi)壁上光阻濺射的區(qū)域。由此僅需清洗液清洗過程就可以完全清除光阻儲液罐內(nèi)壁上殘留的光阻而省去了基板傳片測試工序，從而簡化了工藝，提升了生產(chǎn)效率；減少了光阻消耗，降低了生產(chǎn)成本；同時也提升了涂布質(zhì)量。

附圖說明

為更清楚地闡述本發(fā)明的構(gòu)造特征和功效，下面結(jié)合附圖與具體實施例來對其進行詳細說明。

圖1是現(xiàn)有的一種光阻儲液罐的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明實施例的光阻儲液罐的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施例

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都應屬于本發(fā)明保護的范圍。