[發(fā)明專利]離子植入機(jī)及離子植入方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610051333.6 | 申請日： | 2016-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN105826153A | 公開（公告）日： | 2016-08-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 安瓦爾·侯塞因;凡立瑞·立特瓦克 | 申請（專利權(quán)）人： | 漢辰科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 中國臺(tái)灣新竹縣寶山鄉(xiāng)*** | 國省代碼： | 中國臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 離子 植入 方法 | ||
【說明書】：
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