[發明專利]基于錐形金屬-電介質多層光柵結構的偏振無關寬帶吸收器

在審

• 申請號: 201610049732.9
• 申請日: 2016-01-25
• 公開（公告）號: CN105652354A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 吳俊;周常河;李民康;項長鋮
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18;G02B27/42
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純;張寧展

1.一種用于紅外波段的基于錐形金屬-電介質多層光柵結構的偏振無關寬帶吸收器， 其特征在于，包括自上而下的金屬-電介質多層光柵、金屬薄膜反射層和電介質襯底；所述 的金屬-電介質多層光柵的周期d為1640～1645納米，該金屬-電介質多層光柵由N對金屬光 柵和電介質光柵疊加組成，且占空比由上而下逐漸增加，金屬光柵和電介質光柵的厚度分 別為5.5～6.5納米和257～259納米，頂部光柵和底部光柵的寬度分別為100～105納米和 1595～1600納米，金屬薄膜反射層的厚度大于光在紅外波段的趨膚深度。

2.根據權利要求1所述的基于錐形金屬-電介質多層光柵結構的偏振無關寬帶吸收器， 其特征在于所述的光柵周期d為1643納米，金屬光柵的厚度為6納米，電介質光柵的厚度為 258納米，頂部光柵的寬度為103納米，底部光柵的寬度為1599納米，金屬薄膜反射層的厚度 為200納米。