[發(fā)明專利]放電電離電流檢測器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610049673.5 | 申請日： | 2012-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN105651855B | 公開（公告）日： | 2018-08-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 品田惠;堀池重吉;西本尚弘 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | G01N27/70 | 分類號： | G01N27/70;G01N30/64;G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;張會華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 放電 電離 電流 檢測器 | ||
1.一種放電電離電流檢測器，其特征在于，
該放電電離電流檢測器包括：放電用電極，以暴露在供等離子體氣體流通的氣體流路中的方式配設(shè)該放電用電極，其表面由電介質(zhì)被覆；交流電壓施加部件，其用于對上述放電用電極施加低頻交流電壓，以便在上述氣體流路中發(fā)生電介質(zhì)阻擋放電而從上述等離子體氣體生成等離子體；和電流檢測部件，其用于對由在上述氣體流路中因上述等離子體的作用而被電離了的試樣氣體中的試樣成分引起的離子電流進(jìn)行檢測，
上述電介質(zhì)使用藍(lán)寶石。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電電離電流檢測器，其特征在于，
使從上述放電用電極放出到等離子體氣體中的以H、O為主體的雜質(zhì)的濃度降低。
3.一種放電電離電流檢測器，其特征在于，
該放電電離電流檢測器包括：放電用電極，以暴露在供等離子體氣體流通的氣體流路中的方式配設(shè)該放電用電極，其表面由電介質(zhì)被覆；交流電壓施加部件，其用于對上述放電用電極施加低頻交流電壓，以便在上述氣體流路中發(fā)生電介質(zhì)阻擋放電而從上述等離子體氣體生成等離子體；和電流檢測部件，其用于對由在上述氣體流路中因上述等離子體的作用而被電離了的試樣氣體中的試樣成分引起的離子電流進(jìn)行檢測，
上述電介質(zhì)使用高純度氧化鋁。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的放電電離電流檢測器，其特征在于，
使從上述放電用電極放出到等離子體氣體中的以H、O為主體的雜質(zhì)的濃度降低。
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