[發明專利]一種單晶硅棒缺陷超聲檢測系統

有效

• 申請號: 201610049531.9
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN105486748B
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: 邱宗明;烏偉;朱凌建;李林;黃秋紅
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: G01N29/04
• 分類號: G01N29/04;G01N29/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，包括可轉動圓桶(2)和固定支架(5)，可轉動圓桶(2)外壁下端均勻設有角度刻度線，可轉動圓桶(2)內卡接有待檢測的圓柱形單晶硅棒(6)，在待檢測的圓柱形單晶硅棒(6)直徑對稱的圓壁之外分別設置有收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)，收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)位于同一水平面上，其特征在于，所述收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)的數量均為兩個，分別安裝在可轉動圓桶(2)的左右兩側、前后兩側，所述可轉動圓桶(2)的內底面上開設有相互垂直的水平滑軌(9)和豎直滑軌(10)，水平滑軌(9)和豎直滑軌(10)上均滑動安裝有帶伺服裝置的夾持塊(7)，所述收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)均通過電動伸縮桿(8)與固定支架(5)的上端相連，還包括

數據接收處理模塊，用于根據所接收到的超聲回波數據特性，設定最佳分解層數，并按照最佳分解層數對所接收到的超聲回波數據進行雙樹復小波變換，得到各層分解系數，然后對所得的各層分解系數分別進行重構，得到各層重構的超聲回波數據，并將所得的重構的超聲回波數據發送到三維模型建立模塊；

人機操作模塊，與可轉動圓桶、帶伺服裝置的滑塊、電動伸縮桿、收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)相連，用于輸入控制可轉動圓桶、帶伺服裝置的滑塊、電動伸縮桿、收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)的命令，并將輸入的命令發送到轉移節點模塊；

三維模型建立模塊，用于根據所接收到的重構的超聲回波數據建立待檢測的圓柱形單晶硅棒的三維模型；

虛擬作動器，用于驅動參數變化的，與三維生成模塊中的各元素建立關系后，在指定的范圍內對參數進行變動，從而驅動仿真分析方法針對不同的參數進行計算求解；

虛擬傳感器，用來在仿真模型中插入各類型的來達到直接獲取相應的結果或信息的目標的邏輯單元；

轉移節點模塊，與三維生成模塊中的各元素相連，通過改變轉移節點的位置、方向設置，使待檢測的圓柱形單晶硅棒的三維模型產生相應的運動；

中央處理器，用于協調上述所有模塊進行工作。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，其特征在于，所述可轉動圓桶(2)下底面連接有伺服電機(1)的制動端。

3.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，其特征在于，所述虛擬傳感器包括通用虛擬傳感器和專用虛擬傳感器。

4.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，其特征在于，所述虛擬作動器包括虛擬單元作動器、虛擬特性作動器和虛擬載荷作動器。

5.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，其特征在于，還包括一顯示屏，用于顯示人機操作模塊所輸入的數據以及三維生成模塊所生成的三維模型。

6.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，其特征在于，還包括一數據庫，用于儲存人機操作模塊所輸入的數據以及三維生成模塊所生成的三維模型數據，以及檢測過程中所產生的其它數據。