[發明專利]一種金屬有機物化學氣相沉積設備的中央支柱有效
| 申請號： | 201610045732.1 | 申請日： | 2016-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN105463411B | 公開（公告）日： | 2018-12-25 |
| 發明（設計）人： | 馮雅清 | 申請（專利權）人： | 馮雅清 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/18 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227 | 代理人： | 唐燕潔 |
| 地址： | 200135 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 有機物 化學 沉積 設備 中央 支柱 | ||
【權利要求書】：
1.一種金屬有機物化學氣相沉積設備的中央支柱，包括中央支柱體(1)、導流螺桿(2)、O型圈(3)、反應腔頂蓋(4)、進水管(5)、出水管(6)、上蓋(7)、排氣窗(8)和反應腔底座(10)，其特征在于，所述中央支柱體(1)外套有隔熱外套(9)；
所述隔熱外套(9)的底部抵接于反應腔底座(10)，其頂部與反應腔頂蓋(4)之間留有間隙。
2.根據權利要求1所述的一種金屬有機物化學氣相沉積設備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)與中央支柱體(1)之間留有間隙。
3.根據權利要求2所述的一種金屬有機物化學氣相沉積設備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)與中央支柱體(1)之間的間隙為0.1mm-2mm之間。
4.根據權利要求1所述的一種金屬有機物化學氣相沉積設備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)由耐高溫耐腐蝕的無機或金屬材料制成。
5.根據權利要求1所述的一種金屬有機物化學氣相沉積設備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)的壁厚為0.5mm-5mm之間。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
